Усовершенствованный анализатор низкочастотного шума E4727B/W7802B
Измерение фликкер-шума (1/f) и произвольного телеграфного шума (RTN)
полупроводниковых приборов и составление карты полупроводниковой пластины.
E4727B/W7802B компании Keysight – это готовое решение для измерения фликкер-шума (1/f) и произвольного телеграфного шума (RTN) полупроводниковых приборов. W7801B от Keysight – это пакет программного обеспечения для управления модулем генератора сигналов и быстродействующего измерителя (WGFMU) Keysight B1530A. Эти решения позволяют управлять полуавтоматической зондовой станцией и автоматически составлять карту полупроводниковой пластины с данными по шуму.
Аппаратная часть E4727B была разработана как для измерений на пластине, так и для измерений дискретных полупроводниковых приборов/схем и состоит из модуля, соединенного с компьютером в формате PXIe и дигитайзером. Модуль подключается к источнику питания/измерителю (SMU), такому как, B1500A, чтобы обеспечить гибкую подачу «чистого» напряжения смещения на полупроводниковый прибор и преобразование шумового сигнала. SMU используется для подачи смещения и измерения рабочих точек по постоянному току. Однако при измерении шума необходимо отфильтровать собственные шумы. Напряжение шума, снимаемое с выхода полупроводникового прибора, усиливается, оцифровывается, а затем анализируется с помощью специализированной ПЛИС. Ниже показана одна из схем измерения шумов, хотя возможны и другие. Функции изменения сопротивления, коммутации и фильтрации осуществляет модуль A-LFNA.
Для разных типов полупроводниковых приборов требуются разные значения сопротивления R нагрузки (RLOAD) и R источника (RSOURCE). E4727B является единственным в отрасли анализатором, предлагающим 23 переключаемых значения сопротивления от 0 Ом до 100 МОм. Программное обеспечение анализатора A-LFNA позволяет взвешенно выбирать значения R источника и R нагрузки исходя из типа полупроводникового прибора (полевой или биполярный транзистор, диод и т. д.), и измерять его характеристики по постоянному току.
Системный контроллер в шасси PXIe поставляется с установленным ПО A-LFNA, которое интегрировано с ПО PathWave WaferPro Express, обеспечивающим быстрое и гибкое управление прибором и зондовой станцией. Таким образом, теперь можно автоматизировать измерения по постоянному току и измерения шума для полупроводниковых приборов разного типа с разной величиной смещения. Скорость и точность измерений можно регулировать настройкой аппаратного усреднения. Предустановленные на заводе процедуры тестирования предлагают большой выбор схем подачи смещения, которые можно копировать и изменять в соответствии с конкретной задачей.
Для продолжения чтения вы можете скачать полную версию материала по ссылке ниже.