Автоматизированная зондовая измерительная система CM300 производства компании Cascade Microtech признана лучшим устройством
Зондовая система CM300 выиграла конкурс %26laquo;Лучшее устройство по результатам измерений 2014 года%26raquo; в категории полупроводниковых приборов, опередив трёх сильных соперников.
Зондовая система на пластине CM300 стала важнейшей частью комплексной системы, использовавшейся в исследовательской лаборатории IMEC в Эйндховене во время работ по миниатюризации SiP, проводившихся компанией Infineon Technologies. Одной из ключевых областей проведения исследований является непосредственное зондирование на микровыводах с малым шагом, выполняющих функцию соединений в трёхмерных многоярусных кристаллах. Для этого необходимы зондовые платы с малым усилием и шагом и очень точная зондовая измерительная установка. Наша современная технология Pyramid Probe® в сочетании с точностью системы CM300 наилучшим образом соответствуют этим требованиям.
Предлагая возможность получения более точных параметров модели и достижения надёжного воспроизводимого контакта при изменении температуры и времени, система CM300 помогает сократить сроки внедрения новых устройств и технологий.
В CM300 реализовано множество решений, обеспечивающих высочайшие эксплуатационные характеристики и точность измерений. Из них стоит отметить следующие:
Функции:
· Полное экранирование от электромагнитных помех для получения точных результатов с малыми утечками и низким уровнем шума;
· Минимальное время установления для эффективных измерений без ущерба для точности во всем диапазоне температур;
· Автоматическое терморегулирование (Automated Thermal Management, ATM™) подстраивает параметры оборудования в соответствии с температурой держателя;
· Возможность автоматического повторного совмещения компенсирует температурный дрейф пластин и датчиков после каждого изменения температуры;
· Надёжные и воспроизводимые контакты в широком диапазоне температур на небольших площадках (от 40 мкм) и микровыводах;
· Многоцелевой мост для подключения измерительных приборов, таких как анализатор параметров или помех и векторный анализатор цепей (VNA), как можно ближе к проверяемому устройству.
В системе используется программное обеспечение Velox™ и VeloxPro™ для управления зондовой измерительной станцией и автоматизации испытаний:
· Полностью автоматический инженерный режим работы системы;
· Свободное перемещение между кристаллами на пластине;
· Тестирование отдельных кристаллов;
· Удобный интерфейс пользователя стандарта SEMI E95;
· Эффективная передача данных с помощью ПО выполнения измерений;
· Мощные средства распознавания образов;
· Автоматическое совмещение пластин и автоматическая коррекция по XYZ и углу для субмикронного шагового экспонирования.
Быстрый доступ к вспомогательным держателям:
· Два патентованных вспомогательных держателя для калибровки высокой точности в РЧ/СВЧ-измерениях на частотах до 110 ГГц;
· Три места для современных процедур чистки и проверки контактов.
Ручная установка и снятие пластин:
· Полуавтоматический режим, позволяющий вручную работать с отдельным кристаллом, фракциями и небольшими пластинами;
· Возможность работать с рамками пластин размером 300 мм для тонких пластин на фольге (дополнительно).
Встроенная система виброизоляции:
· Устраняет вибрацию от внешних источников (акустических и архитектурных), обеспечивая надёжность работы с небольшими площадками;
· Повышает стабильность системы и позволяет меньше повреждать площадки, пластины и зонды;
· Удобный доступ с передней и задней сторон для быстрой настройки и обслуживания.
Зондирование в широком диапазоне температур:
· Определение характеристик и моделирование в диапазоне температур от –60 ?C до 300 ?C;
· Тепловая оптимизация зажима, принцип экранирования и сверхплоские держатели пластин обеспечивают стабильность и воспроизводимость измерений.
Встроенный охладитель:
· Конструкция устройства предусматривает возможность установки охладителя, позволяя минимизировать занимаемое место.
До двух портов установки:
· Для повышенной производительности ? до 50 пластин для длительной автономной работы;
· Для кассет с 300-мм пластинами FOUP и FOSB;
· Открытый кассетный адаптер для использования стандартных 200-мм кассет пластин (дополнительно);
· Возможность автоматического учёта и быстрой смены кассет для обработки приоритетных пластин.
Возможность работы в режиме сдвоенной зондовой измерительной установки:
· Две независимых зондовых измерительных установки могут использовать один манипулятор, повышая эффективность использования тестовой ячейки и сводя к минимуму занимаемое место;
· Возможность модернизации на месте эксплуатации.
M300 ? это точность и надёжность, реализованные в полностью модульном устройстве, будь то измерения I-V/C-V, RTN или РЧ-измерения в единой полуавтоматической системе или полностью автоматическая система из двух зондовых измерительных устройств, работающая с любым сочетанием 200-мм и 300-мм пластин. Наша квалификация в области прецизионных измерений даст вам возможность уверенно получать точные и надёжные данные в современных и перспективных технологиях проектирования устройств. Для CM300 можно быстро спрогнозировать оставшийся срок эксплуатации в целях обеспечения надёжности, а процесс моделирования не требует большого объёма повторного проектирования. Повышенная производительность и эффективность обеспечиваются за счёт возможности проводить анализ в широком диапазоне температур и поддерживать точность расположения зонда относительно пластины при работе с малыми площадками (от 40 мкм).
За консультацией и по вопросам приобретения оборудования Вы можете обратиться к нашим специалистам - sales@spegroup.ru