Входной фланец: 160 ISO/200 ISO
Выходной фланец: 25 KF/40 KF
Производительность по азоту: 1600 л/с
Степень сжатия по азоту: 5×108
Входной фланец: 250 ISO-F
Выходной фланец: 40 KF
Производительность по азоту: 1600 л/с
Степень сжатия по азоту: 3×105
Выбор удобных для пользователя единиц измерений (мбар, Торр, Па)
Предельное давление ниже 10-11 Торр
Входной фланец: KF40/ ISO 63/CFF 4.5″/CFF 2.5″
Выходной фланец: KF16 NW
Производительность по азоту: 250 л/с
Степень сжатия по азоту: >1.0×109
Скорость откачки (N2) 8 л/сек,
Предельное давление ниже 10-11 Торр
Предельное давление ниже 10-11 Торр
Входной фланец: CF 100/ISO 100/CF 160/ISO 160
Выходной фланец: KF 16/KF 25
Производительность по азоту: 250 л/с
Степень сжатия по азоту: >1×1011
Входной фланец: KF40/ ISO 63/CFF 4.5″/CFF 2.5″
Выходной фланец: KF16 NW
Производительность по азоту: 60 л/с
Степень сжатия по азоту: >1.0×109
Предельное давление ниже 10-11 Торр
Входной фланец: ISO 160K/ISO 160F/CFF 8″
Выходной фланец: NW25/NW40
Производительность по азоту: 660 л/с
Степень сжатия по азоту: >1×1011
Входной фланец: ISO 100К/ISO 100F/CF 6″
Выходной фланец: NW25/NW16
Производительность по азоту: 380 л/с
Степень сжатия по азоту: >1×1011
Входной фланец: CF 100/ISO 100/CF 160/ISO 160
Выходной фланец: KF 16/KF 25
Производительность по азоту: 250 л/с
Степень сжатия по азоту: >1×1011
