Спиральные насосы TriScroll инверторного типа PTS 300INV и PTS600INV со скоростью откачки 250 и 500 л/мин
Производительность 342 л/мин
Предельный вакуум 4 x 10-3 мбар
Скорость откачки (N2) 0,4 л/сек,
Предельное давление ниже 10-11 Торр
Пределы измерения: 2 x 10-10 Торр - 1 x 10-3 Торр
Пределы измерения: 2 x 10-11 Торр - 1 x 10-3 Торр
Скорость откачки (N2) 2 л/сек,
Предельное давление ниже 10-11 Торр
Предельное давление ниже 10-11 Торр
Скорость откачки (N2) 40 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр
Предельное давление ниже 10-11 Торр