Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе с интегрированным контроллером серии TGkine-B.
Встроенный контроллер/источник питания. Не требуется ни соединительный кабель/кабельный канал, ни крепление в стойку. Создает меньшую нагрузку на конструкцию системы. Оптимизированная конструкция составного ротора обеспечивает непревзойденные эксплуатационные характеристики.
Особенности
- Встроенный контроллер и источник питания.
- Энергосбережение.
- Компактный.
- Стандарт IP54.
- Множество вариантов интерфейса.
- Соответствует международным стандартам: CE / NRTL / SEMI-S2.
Применение
- Производство солнечных элементов.
- Обработка поверхности, модификация поверхности.
- Ускоритель, космический симулятор.
- Стекло, оптическое покрытие.
- Производство LCD.
- Пленочное покрытие
- Производство полупроводников.
|
Параметр |
Значение |
|||
|
Модель |
TGkine 3300M |
TGkine 3300M-40 |
||
|
Входной фланец |
VG300 |
|||
|
Выходной фланец |
KF40/KF50 |
|||
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
3300 |
||
|
N2 (с защитным экраном) |
3100 |
|||
|
H2 |
2700 |
|||
|
Макс. степень сжатия |
N2 |
>1×108 |
||
|
H2 |
3×103 |
|||
|
Базовое давление3 (Pa) |
VG・ISO-B (Pa) |
<2×10-7 |
||
|
VG・ISO-B (Torr) |
<7.5×10-9 |
|||
|
Макс. пропускная способность (sccm) |
N2 |
2100 |
4000 |
|
|
Время запуска (min) |
≦11 |
|||
|
Время отключения (min) |
≦13 |
|||
|
Макс. обратное давление (Pa/Torr) |
170/1.281 |
|||
|
Рекомендуемый подпорный вакуумный насос (l/min) |
≧2000 |
|||
|
Входное напряжение (V) |
AC200-240V -15%+10% |
|||
|
Фаза |
Single |
|||
|
Частота (Hz) |
50/60 |
|||
|
Ток (A) |
макс. 5.3 |
|||
|
Мощность (kVA) |
макс. 0.9 |
|||
|
Коммуникационный модуль (выбирается) |
Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet |
|||
|
Степень защиты |
IP54 |
|||
|
Позицция |
Любая ориентация |
|||
|
Вес (kg) |
69 |
|||
|
Контроллер |
Интегрированный |
|||
Примечания
1Поддерживающее давление, обеспечивающее непрерывную работу насоса под действием газообразного азота.
Температура окружающей среды для использования. Диапазон температур окружающей среды, обеспечивающий достижение максимального давления, составляет 10-23 ℃. Допустимая температура окружающей среды составляет 10-40℃. Максимальная температура охлаждающей воды, обеспечивающая предельное давление, составляет 30℃, а допустимый диапазон температур охлаждающей воды составляет 10-35℃.
Соответствующие газы. Некоторые виды газа, подлежащего откачке, могут привести к повреждению насоса.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
