Анализатор остаточных газов INFICON Transpector® Single Pressure Sampling (SPS) обеспечивает наилучшую защиту полупроводниковых пластин и индикаторной панели для целевых процессов с высоким давлением. Transpector SPS минимизирует количество отходов пластин и панелей благодаря наиболее чувствительному обнаружению утечки воздуха и технологических загрязнений при работе под одним давлением. Он обеспечивает лучшие в отрасли пределы обнаружения и скорости измерений, обеспечивая как качество, так и количество выходов пластин и панелей. Transpector SPS максимизирует производительность и производительность процесса, обеспечивая наиболее надежный мониторинг процесса для стабильных процессов с высоким давлением. Прибор сочетает в себе простую и экономичную впускную систему с проверенным в полевых условиях источником ионов и насосным комплексом, обеспечивая решение для анализа газов с низким риском и высокой отдачей. Идеально подходящий для общего вакуумирования и промышленного применения, Transpector SPS является проверенным решением для металлургии и термообработки, таких как вакуумная дуговая переплавка (VAR). Transpector SPS настраивается и может быть адаптирован к конкретным приложениям и бюджетам. Стандартные комбинации отверстий, капилляров и байпасных линий могут быть выбраны для отбора проб с технологическим давлением от 1E-4 Торр до атмосферы. Коррозионностойкий впускной патрубок, источник ионов и насосный блок обеспечивают устойчивость к травлению, CVD, ALD и другим агрессивным газовым процессам.
Преимущества
- Минимизируйте совокупную стоимость владения для защиты пластин и панелей с помощью одного входа для отбора проб под давлением; Идеально подходит для процессов высокого давления, таких как диффузия, эпитаксия и RTP.
- Обеспечивает обнаружение утечек воздуха и загрязнений на самом низком уровне для процессов с постоянным высоким давлением.
- Бесшовная интеграция fab и надежное блокирование благодаря мощному сбору и синхронизации данных.
- Расширяет уникальные производственные возможности за счет индивидуальной оптимизации рецептуры.
- Защита критически важных технологических потребностей с немедленным реагированием экспертов на месте.
Применение
- Процессы PVD.
- Процессы диффузии и эпитаксии.
- Процессы травления, включая: травление металла, диэлектрика, кремния, HDP-травление.
- Процессы CVD, в том числе: диэлектрики с высоким содержанием k, HDP-CVD, LP-CVD, SA-CVD, CVD с низким содержанием k, PE-CVD.
| Параметр | Значение |
|
Модель |
200 AMU SPS |
|
Разрешение |
ширина 1 amu при максимальной высоте 10% |
|
Диапазон общего давления1 |
От 5E-7 до 1E-3 Торр (от 6,6E-7 до 1,3E-3 мбар) |
|
Точность полного давления2 |
±25% от 1E-6 до 1E-3 Торр (от 1,3E-6 до 1,3E-3 мбар) |
|
Максимальное рабочее давление источника ионов3 |
1E-3 Торр (1,3E-3 мбар) |
|
Номинальное рабочее давление4 |
2E-4 Торр (2,6E-4 мбар) |
|
Рабочее давление в системе (с отверстиями/капилляром) |
1E-4 Торр до 1,2 атмосферы |
|
Чувствительность (при низком уровне излучения, режим FC) |
> 2,0E-6 amps/Торр (> 1,5E-6 amp/мбар) |
|
Чувствительность (при высоком уровне излучения, режим FC) |
> 1,0E-5 amps/Торр (> 7,6E-6 amp/мбар) |
|
Минимальное обнаруживаемое частичное давление5 |
2,0E-13 Торр (2,6E-13 мбар) |
|
Максимальная скорость передачи данных |
1,8 мс на точку |
|
Чувствительность к изобилию6 |
<10 промилле |
|
Нулевой взрыв7 |
<25 промилле |
|
Ограничение обнаружения8 |
<2 промилле |
|
Минимальное фоновое давление |
<1,0E-8 Торр (<1,3E-8 мбар) |
|
Максимальная температура датчика и на входе |
150 °C |
1 Показания давления источника ионов при низком уровне выбросов с помощью объектива полного давления.
2 Полная точность давления при низком уровне выбросов.
3 Максимальное рабочее давление источника ионов при низком уровне выбросов.
4 2x10-4 Торр в источнике ионов будут производить около 1x10-5 Торр в квадрупольной области.
5 МКПП на источнике ионов при включенном электромагнитном излучении и времени выдержки 1 сек.
6 Вклад массы 40 в 41 AMU.
7 Нулевой вклад взрыва в 2 AMU.
8 Минимальная обнаруживаемая концентрация криптона в воздухе при времени выдержки 1 сек.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос