МОНИТОРИНГ И КОНТРОЛЬ БЫСТРЫХ ИЗМЕНЕНИЙ ПРОЦЕССА
Новый анализатор остаточных газов Transpector XPR 3 + (RGA) обеспечивает лучшую в отрасли скорость измерений для мониторинга и контроля быстрых технологических изменений, необходимых для современного производства полупроводников и дисплеев. Transpector XPR 3+ идеально подходит для мониторинга утечек воздуха на месте, чистоты газа, углеводородов и загрязнений. Измерение в реальном времени с помощью Transpector XPR 3+ обеспечивает гораздо лучшую защиту продукта по сравнению с периодическими испытаниями на повышение температуры.
ПОВЫШЕНИЕ РЕНТАБЕЛЬНОСТИ ЗА СЧЕТ МАКСИМАЛЬНОГО ВРЕМЕНИ БЕЗОТКАЗНОЙ РАБОТЫ ИНСТРУМЕНТА
Transpector XPR 3+ RGA - это проверенный в полевых условиях квадрупольный датчик с двумя источниками ионов для применения в диапазоне давлений распыления. Оборудование для преобразования давления не требуется, компоненты с длительным сроком службы и способность быстро обнаруживать и диагностировать проблемы в совокупности обеспечивают максимальную доступность инструмента, производительность и производительность продукта. Датчик может работать непрерывно от высокого вакуума до 20 мТорр, без необходимости в насосах. Камеры двойного источника ионов Transpector XPR 3+ сконструированы таким образом, чтобы ограничить нанесение покрытия для поддержания чувствительности источника ионов и увеличить среднее время обслуживания датчика.
Преимущества
- Защита пластин и панелей в режиме реального времени благодаря высокочувствительному обнаружению утечек воздуха и загрязнений от высокого вакуума до технологических давлений PVD.
- Максимальная эффективность PM и время безотказной работы инструмента благодаря быстрой и надежной квалификации камеры.
- Минимизируйте совокупную стоимость владения благодаря более длительному сроку службы, стойкой к загрязнениям конструкции с двумя источниками ионов; контролирует до 20 мТорр без использования насосов. Вариант EM с низким давлением обеспечивает экономичную альтернативу.
- Бесшовная интеграция fab и надежное блокирование благодаря мощному сбору и синхронизации данных.
- Расширьте уникальные производственные возможности за счет индивидуальной оптимизации рецептуры.
- Защита критически важных технологических потребностей с немедленным реагированием экспертов на месте.
Применение
- Модули процесса PVD и распыления.
- Модули предварительной очистки.
- Некластерные инструменты PVD.
- Модули дегазации с зажимами.
| Параметр |
Значение |
|
Атомная единица массы |
1-100 amu |
|
Резолюция1 |
<1 @ 10%, измеренное при массе 4, 20, 28 и 40 |
|
Тип детектора |
Внеосевой FC и микроканальная пластина EM |
|
Температурный коэффициент2 |
<1% от высоты пика на °C |
|
Стабильность положения массы3 |
<0,1 amu в течение 24 часов9 |
|
Стабильность пикового коэффициента4 |
<2% в течение 24 часов |
|
Чувствительность (режим FC)5 |
≥4E-7 amps/Торр (3E-7 amps/мбар) |
|
Чувствительность (номинальная)5 |
≥8E-3 amps/Торр (3E-3 amps/мбар) |
|
Минимальное обнаруживаемое частичное давление6 (режим FC)5 |
≤1E-9 Торр (1,3E-9 мбар) |
|
Минимальное обнаруживаемое частичное давление5 (режим электромагнитного излучения)5 |
≤6E-12 Торр (8E-12 мбар) |
|
Максимальное рабочее давление (режим FC или EM) |
20 мТорр (2,6E-2 мбар) |
|
Максимальное рабочее давление (линейный режим) |
10 мТорр (1,3E-2 мбар) |
|
Максимальная рабочая температура датчика |
150°C |
|
Максимальная температура выпекания7 |
200°C |
|
Предел обнаружения8 |
10 промилле |
|
Рабочая температура окружающей среды |
5-50°C |
|
Потребляемая мощность |
20-30 В (постоянного тока), не более 30 Вт |
|
Интерфейс связи Ethernet |
Стандарт: Подключение кабеля Ethernet CAT5e |
|
Стандартный ввод-вывод |
Один аналоговый вход, два цифровых входа, одно реле, 24 В при 0,5 А |
|
Расширенный ввод-вывод (опция) |
Четыре аналоговых входа, четыре аналоговых выхода, четыре реле, 24 В при 0,5 А, 12 цифровых входов или выходов |
1 В соответствии с рекомендуемой практикой AVS 1993 года.
2 Сигнал FC при 1E-4 Торр Ar.
3 Сигнал FC при 1E-4 Торр Ar с постоянным STP.
4 Массовые пиковые отношения 2/40, 4/40, 20/40, 28/40.
5 При 40 эВ / 200 мкА.
6 MDPP рассчитывается как стандартное отклонение шума, деленное начувствительность.
датчика измеряется с 4-секундным временем выдержки.
7 С удаленной электроникойэ
8 При давлении процесса 1-5 mTorr.
9 Активируется пиковая блокировка для 24-часовой стабильности положения массы.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос