Масс-спектрометр Pfeiffer Vacuum SPM

Модульные и гибкие решения для качественного и количественного анализа газов.

Анализатор высокого давления HPA 220

Анализатор высокого давления HPA 220 - это гибкое модульное решение, оптимальное не только для анализа газов, но и для процессов контроля и управления.

Эта идеально подобранная комбинация масс-спектрометра и сухой турбонасосной станции HiPace поставляется с тремя вариантами впуска газа. Это позволяет работать в диапазоне давлений до 50 гПа. Выбор за Вами! Независимо от того, нужен ли Вам ручной или электропневматический впуск газа, HPA 220 всегда будет идеальным решением для вашей сферы применения.

Устройство контроля напыления SPM 220

Благодаря устройству контроля напыления SPM 220, компания Pfeiffer Vacuum предлагает идеальное решение для качественного и количественного анализа газов в процессах напыления. Комбинация турбонасосной станции HiPace с масс-спектрометром с источником ионов SPM с дифференциальной перекачкой делает его идеальным для применения в диапазоне давлений до10 гПа.

На рисунке показан схематический вид анализатора в сборе, соединенного с технологической камерой. Короткая широкая трубка образует соединение с технологической зоной. Источник ионов постоянно открыт в технологическую камеру, но не проходит внутрь нее.

Благодаря особой конструкции SPM 220 в ионизационной камере источника ионов поддерживается рабочее давление, а для нитей накаливания и остальной части масс-спектрометра поддерживается высокое разрежение. Источник ионов снабжен штуцерами для инжекции электронов и отвода ионов.

Это позволяет обнаружить даже незначительные примеси в технологическом газе с помощью активных газов. Это также эффективно предотвращает искажение показаний из-за обратной диффузии из камеры анализатора.

1,2) Интерфейс клапана HPI 040
С ручным или электропневматическим управлением. Состоит из трех клапанов, запорного клапана с сильфонным уплотнением с номинальным диаметром DN 40 CF для анализа остаточных газов или обнаружения утечек до <5·10^-7 гПа и двух клапанов со сменными штуцерами на перепуске. Прилагается один штуцер 0.03 мм для расширения диапазона до 8 гПа (N₂).

3,4) Двойной запорный клапан
С ручным или электропневматическим управлением. Состоит из двух запорных клапанов с сильфонным управлением, сваренных друг с другом. Один запорный клапан с номинальным диаметром DN 40 CF для анализа остаточных газов или обнаружения утечек до <1·10^-4 гПа и второй запорный клапан со сменным штуцером. Поставляется с уже установленным штуцером 0,1 мм для диапазона давлений 0.05-0.5 гПа (N₂).

5) Дозировочный клапан газа UDV 040
Вручную настраиваемый дозировочный клапан газа для диапазона давления 1·10^-3 до 50 гПа. Максимально возможный и приемлемый диапазон давления определяется, в частности, увеличивающимся отделением газа, которое происходит при возрастающих давлениях.

Обзор преимуществ:

• Значительная гибкость благодаря 5 вариантам впуска газа с ручным или электропневматическим управлением для анализа, контроля и управления процессами с давлением до 50 гПа.
• Простая и гибкая интеграция в систему благодаря разным цифровым и аналоговым входам и выходам.
• Многоканальная работа позволяет оценивать данные от нескольких масс-спектрометров с помощью одного ПК.
• Компактные размеры для гибкой интеграции.
• PM ионный источник для мгновенного контроля процесса.
• Превосходные пределы для обнаружения H₂, O₂, H₂O и CO_2.
• Минимальное влияние фона на результат измерения.