Серия EMT-MK обеспечивает повышенную производительность, более высокую скорость перекачки и производительность до 4200 л/с.Установка "все в одном" со встроенным бортовым контроллером и выбором различных промышленных коммуникационных модулей. Многопроцессорные версии - сверхвысокочастотные, встроенные системы нанесения покрытий, системы с электронным пучком и коррозионные процессы.
Особенности
- Надежная технология магнитной подвески.
- Установка в любой ориентации.
- Энергоэффективные двигатели.
- Быстрый запуск.
- Быстрое отключение (с вентиляционным отверстием).
- Прочная конструкция ротора для высоких газовых нагрузок.
- Доступно множество вариантов связи.
- Автоматическая калибровка.
- Отсутствие вибрации.
- Водяное охлаждение.
- Стандарты безопасности UL, CE, SEMI, NRTL.
Применение
- Биомед (медицинский циклотрон).
- Технология испарения (электронно-лучевая, термическая).
- Нанесение покрытий на стекло (поточное, рулонное).
- Физика высоких энергий (линейные ускорители, пучковые линии).
- Ионный электронный пучок (осаждение, травление, напыление).
- Полупроводники (травление, pecvd, euv).
- Производство солнечных батарей/плоских панелей (cvd, oled, струйная печать).
- Моделирование космического пространства (спутники, авионика).
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
EMT907M |
|
Скорость откачки N2 (l/s) |
900 |
|
Скорость откачки H2 (l/s) |
1050 |
|
Предельное давление (Torr) |
< 7.5х10-9 |
|
Макс. обратное давление (Torr) |
3.8 |
|
Предельное давление (Pa) |
< 1,00E-8* |
|
Форвакуумный насос (рекомендуется) (l/min) |
> 250 |
|
Входной фланец |
ISO-F160, CF160 |
|
Выходной фланец |
ISO-F160, CF160 |
|
Пропускная способность N2 (sccm) |
3.000 |
|
Время запуска (min) |
< 5 |
|
Время остановки (min) |
< 5 |
|
Высота (mm) |
401-407 |
|
Размер (диаметр, mm) |
Ø264 |
|
Вес (kg) |
37-45 |
|
Крутящий момент ротора (Nm) |
22.700 |
*Для модели со сверхвысоким вакуумом.
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
Ebara Corporation — японская компания, работающая на рынке насосного оборудования почти столетие. С её штаб-квартирой в Токио, Ebara занимает одну из ведущих позиций в мире по проектированию и производству насосов и насосных систем.
