Серия EMT - это турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе, полностью не содержащий углеводородов. Каждая модель в ассортименте отличается исключительной ценностью и оснащена новейшей технологией активной магнитной подвески, обеспечивающей долгие годы надежной и безаварийной работы. Прочная конструкция может выдерживать нечастые ударные нагрузки в условиях высокого расхода или вентиляции, а модели со специальным коррозионно-стойким покрытием справляются с самыми жесткими химическими веществами.
Доступны пять основных моделей насосов с контролем температуры, коррозионной стойкостью, сверхнизкой вибрацией и т. д.
Особенности
- Установка в любой ориентации.
- Ротор с длительным сроком службы.
- Энергоэффективные двигатели.
- Быстрый запуск.
- Быстрое отключение (с вентиляционным отверстием).
- Прочная составная конструкция ротора для подачи воздуха.
- Компактный размер.
- Различные средства связи по полевым шинам RS485, Profibus, EtherCAT.
- Автоматическая калибровка.
- Отсутствие вибрации (<0,01 микрона).
- Воздушное или водяное охлаждение.
- Стандарты безопасности UL, CE, SEMI, NRTL.
Применение
- Полупроводниковые процессы.
- UHV.
- Системы нанесения тонкопленочных покрытий.
- Метрология.
- Производство фотоэлектрических систем/светодиодов.
- Аналитические приборы.
- RGA/SEM.
- Исследования и разработки.
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
EMT1700MK |
|
Скорость откачки N2 (l/s) |
1650 |
|
Скорость откачки He (l/s) |
1600 |
|
Предельное давление (Torr) |
< 1.5х10-9 |
|
Макс. обратное давление (Torr) |
1.65 |
|
Предельное давление (Pa) |
< 2,00E-7 |
|
Форвакуумный насос (рекомендуется) (l/min) |
> 2000 |
|
Входной фланец |
ISO-F200 |
|
Выходной фланец |
ISO-F200 |
|
Пропускная способность N2 (sccm) |
4400 |
|
Время запуска (min) |
< 10 |
|
Время остановки (min) |
< 10 |
|
Высота (mm) |
501.5 |
|
Размер (диаметр, mm) |
Ø340 |
|
Вес (kg) |
65 |
|
Крутящий момент ротора (Nm) |
54.000 |
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
Ebara Corporation — японская компания, работающая на рынке насосного оборудования почти столетие. С её штаб-квартирой в Токио, Ebara занимает одну из ведущих позиций в мире по проектированию и производству насосов и насосных систем.
