Турбомолекулярные насосы масляные серии TG.
Используются шарикоподшипники с масляной смазкой. Модели для использования в химической промышленности доступны в каждом классе с производительностью от 200 л/с до 5500 л/с для использования в системах отвода агрессивных газов.
Особенности
- Доступны стандартные типы и коррозионностойкие типы.
- Самый большой в мире составной молекулярный насос с объемным расходом.
- Прочная конструкция для подачи воздуха.
- Прочный, устойчивый к внешним воздействиям.
Применение
- Производство полупроводников.
- Выхлоп электронного пистолета, выхлоп источника ионизации.
- Производство FPD.
- Обработка поверхности, модификация поверхности.
- Производство различных электронных компонентов.
- Производство ламп, оптических компонентов.
- Ускоряющее устройство, радиационная установка, исследования ядерного синтеза.
- Термическая обработка.
- Исследования и разработки. Для чистых процессов доступны серии TG-F, TG-M и TGkine.
|
Параметр |
Значение |
|
|
Модель |
TG5500/5503 | |
|
Входной фланец |
VG500 |
|
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
5500 |
|
N2 (с защитным экраном) |
5200 |
|
|
H2 |
4400 |
|
|
Максимальная степень сжатия |
N2 |
1×108 |
|
H2 |
5×103 |
|
|
Базовое давление |
VG (Pa) |
<1×10-6 |
|
VG (Torr) |
<7.5×10-9 |
|
|
Макс. пропускная способность1 (sccm) |
N2 |
1200 |
|
Время запуска (min) |
25-35 |
|
|
SВремя отключения (min) |
30-40 |
|
|
Макс. обратное давление (Pa/Torr) |
200/1.5 |
|
|
Рекомендуемый подпорный вакуумный насос (l/min) |
1500 |
|
|
Необходимое количество смазочного масла (ml) |
1000 |
|
|
Позиция |
Вертикально (±10℃) |
|
|
Вес (kg) |
250 |
|
|
Контроллер |
TC5503 |
|
Примечания
1При использовании подпорного вакуумного насоса производительностью 3000 л/мин.
Температура окружающей среды для использования. Диапазон температур окружающей среды, обеспечивающий достижение максимального давления, составляет 10-23 ℃. Допустимая температура окружающей среды составляет 10-32℃ для воздушного охлаждения и 10-40℃ для водяного. Максимальная температура охлаждающей воды, обеспечивающая предельное давление, составляет 30℃, а допустимый диапазон температур охлаждающей воды составляет 10-35℃.
Соответствующие газы. Некоторые виды газа, подлежащего откачке, могут привести к повреждению насоса.
Контроллер
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
TC5503 |
|
Входное напряжение (ACV) |
200-230 (±10%) |
|
Входные фазы |
Single |
|
Входная частота (Hz) |
50/60 |
|
Входная мощность (VA) |
2200 |
|
Номинальная выходная частота (Hz) |
500 |
|
Вес (kg) |
8.7 |
|
Стандартные принадлежности |
Входной разъем: 1 |
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
С момента своего основания в 1971 году компания OSAKA VACUUM зарекомендовала себя как лидер в области разработки и производства турбомолекулярных насосов (ТМН) в Японии. Она первой на рынке представила турбомолекулярные насосы, а в 1983 году разработала первый в мире ТМН со составным ротором, который стал новым стандартом в отрасли.
