Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе с интегрированным контроллером серии TGkine-B.
Встроенный контроллер/источник питания. Не требуется ни соединительный кабель/кабельный канал, ни крепление в стойку. Создает меньшую нагрузку на конструкцию системы. Оптимизированная конструкция составного ротора обеспечивает непревзойденные эксплуатационные характеристики.
Особенности
- Встроенный контроллер и источник питания.
- Энергосбережение.
- Компактный.
- Стандарт IP54.
- Множество вариантов интерфейса.
- Соответствует международным стандартам: CE / NRTL / SEMI-S2.
Применение
- Производство солнечных элементов.
- Обработка поверхности, модификация поверхности.
- Ускоритель, космический симулятор.
- Стекло, оптическое покрытие.
- Производство LCD.
- Пленочное покрытие
- Производство полупроводников.
|
Параметр |
Значение |
|
|
Модель |
TGkine4200M |
|
|
Входной фланец |
VG350 |
|
|
Выходной фланец |
KF40/KF50 |
|
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
4200 |
|
N2 (с защитным экраном) |
4000 |
|
|
H2 |
2700 |
|
|
Макс. пропускная способность1,2 (sccm) |
N2 |
2800 |
|
Ar |
1400 |
|
|
Макс. степень сжатия |
N2 |
>2×108 |
|
H2 |
2000 |
|
|
Базовое давление3 (Pa) |
<5×10-7 |
|
|
Макс. обратное давление4 (Pa) |
160 |
|
|
Время запуска (min) |
≦12 |
|
|
Время отключения (min) |
≦14 |
|
|
Входное напряжение (V) |
AC200-240V |
|
|
Фаза |
Single
|
|
|
Частота (Hz) |
50/60 |
|
|
Ток (A) |
макс. 5.9 |
|
|
Мощность (kVA) |
макс. 1.0 |
|
|
Вес (kg) |
75 |
|
Примечания
11 Па・л/с (25℃) = 0,543 sccm (0℃, 1 atm).
2Эффективный объемный расход на выпускном отверстии: 5000 л/мин.
3Давление достигается после 48 часов прогрева.
4Максимальное давление на входе, при котором насос может продолжать работать без повреждений.
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
