Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе с интегрированным контроллером серии TGkine-B.
Встроенный контроллер/источник питания. Не требуется ни соединительный кабель/кабельный канал, ни крепление в стойку. Создает меньшую нагрузку на конструкцию системы. Оптимизированная конструкция составного ротора обеспечивает непревзойденные эксплуатационные характеристики.
Особенности
- Встроенный контроллер и источник питания.
- Энергосбережение.
- Компактный.
- Стандарт IP54.
- Множество вариантов интерфейса.
- Соответствует международным стандартам: CE / NRTL / SEMI-S2.
Применение
- Производство солнечных элементов.
- Обработка поверхности, модификация поверхности.
- Ускоритель, космический симулятор.
- Стекло, оптическое покрытие.
- Производство LCD.
- Пленочное покрытие
- Производство полупроводников.
|
Параметр |
Значение |
|
|
Модель |
TGkine3400M |
|
|
Входной фланец |
VG350 |
|
|
Выходной фланец |
KF40/KF50 |
|
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
3300 |
|
N2 (с защитным экраном) |
3100 |
|
|
H2 |
2700 |
|
|
Макс. степень сжатия |
N2 |
>1×108 |
|
H2 |
3×103 |
|
|
Базовое давление3 (Pa) |
VG・ISO-B (Pa) |
<2×10-7 |
|
VG・ISO-B (Torr) |
<7.5×10-9 |
|
|
Макс. пропускная способность (sccm) |
N2 |
2100 |
|
Время запуска (min) |
≦11 |
|
|
Время отключения (min) |
≦13 |
|
|
Макс. обратное давление (Pa/Torr) |
170/1.281 |
|
|
Рекомендуемый подпорный вакуумный насос (l/min) |
≧2000 |
|
|
Входное напряжение (V) |
AC200-240V -15%+10% |
|
|
Фаза |
Single |
|
|
Частота (Hz) |
50/60 |
|
|
Ток (A) |
макс. 5.3 |
|
|
Мощность (kVA) |
макс. 0.9 |
|
|
Коммуникационный модуль (выбирается) |
Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet |
|
|
Степень защиты |
IP54 |
|
|
Позицция |
Любая ориентация |
|
|
Вес (kg) |
69 |
|
|
Контроллер |
Интегрированный |
|
Примечания
1Поддерживающее давление, обеспечивающее непрерывную работу насоса под действием газообразного азота.
Температура окружающей среды для использования. Диапазон температур окружающей среды, обеспечивающий достижение максимального давления, составляет 10-23 ℃. Допустимая температура окружающей среды составляет 10-40℃. Максимальная температура охлаждающей воды, обеспечивающая предельное давление, составляет 30℃, а допустимый диапазон температур охлаждающей воды составляет 10-35℃.
Соответствующие газы. Некоторые виды газа, подлежащего откачке, могут привести к повреждению насоса.
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
