Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе с интегрированным контроллером серии TGkine-B.
Встроенный контроллер/источник питания. Не требуется ни соединительный кабель/кабельный канал, ни крепление в стойку. Создает меньшую нагрузку на конструкцию системы. Оптимизированная конструкция составного ротора обеспечивает непревзойденные эксплуатационные характеристики.
Особенности
- Встроенный контроллер и источник питания.
- Энергосбережение.
- Компактный.
- Стандарт IP54.
- Множество вариантов интерфейса.
- Соответствует международным стандартам: CE / NRTL / SEMI-S2.
Применение
- Производство солнечных элементов.
- Обработка поверхности, модификация поверхности.
- Ускоритель, космический симулятор.
- Стекло, оптическое покрытие.
- Производство LCD.
- Пленочное покрытие
- Производство полупроводников.
|
Параметр |
Значение |
|
|
Модель |
TGkine1700M |
|
|
Входной фланец |
ISO-B200 |
|
|
Выходной фланец1 |
KF40/KF50 |
|
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
1650 |
|
N2 (с защитным экраном) |
1570 |
|
|
H2 |
1550 |
|
|
Макс. пропускная способность2,3 (sccm) |
N2 |
4400 |
|
Ar |
2600 |
|
|
Макс. степень сжатия |
N2 |
>2×108 |
|
H2 |
3×103 |
|
|
Базовое давление4 |
(Pa) |
<2×10-7 |
|
(Torr) |
<1.5×10-9 |
|
|
Макс. обратное давление5 |
(Pa) |
220 |
|
(Torr) |
1.65 |
|
|
Время запуска (min) |
≦10 |
|
|
Время отключения (min) |
≦10 |
|
|
Входное напряжение (V) |
AC200-240V |
|
|
Фаза |
Однофазный |
|
|
Частота (Hz) |
50/60 |
|
|
Ток (A) |
макс. 5.3 |
|
|
Мощность (kVA) |
макс. 0.9 |
|
|
Вес (kg) |
65 |
|
Примечания
1Технические характеристики могут варьироваться в зависимости от модели.
21 Па・л/с (25℃) = 0,543 sccm (0℃, 1 atm).
3Эффективный объемный расход на выпускном отверстии: 5000 л/мин.
4Давление достигается после 48 часов прогрева.
5Максимальное давление на входе, при котором насос может продолжать работать без повреждений.
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
