Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе 320л/с для откачки больших потоков газа.
Несмотря на компактную и простую конструкцию, серия TMP-04 обеспечивает превосходную производительность и высокую энергоэффективность. Эта серия высокопроизводительных турбомолекулярных насосов предназначена для непрерывной откачки больших потоков газа и стабильно откачивать большие объемы. Она может использоваться в широком диапазоне давлений.
Особенности:
Реакция на продукты реакции
Производитель внедрил комплексные меры защиты насоса, включая обработку поверхности ротора, контроль температуры насоса и динамические уплотнения для защиты от продуктов реакции, образующихся в процессе травления полупроводников и ЖК-дисплеев.
(Для получения подробных технических характеристик, пожалуйста, свяжитесь с нами отдельно.)
Улучшение характеристик отвода газов на выхлопе
Для процессов обработки подложек диаметром 300 мм и крупных подложек ЖК-дисплеев скорость отвода газов в диапазоне от 1 до 5 Па на выхлопе была значительно улучшена по сравнению с традиционными моделями. Это позволяет заполнять больший поток газа, сохраняя при этом уровень вакуума.
Компактность и высокая производительность
Для насосов серий 03 и 04 доступны два типа источников питания. Кроме того, даже при изменении комбинации насоса, источника питания и кабелей (от 3 до 30 метров) они могут работать без необходимости регулировки.
| Параметр | Значение | |||||
| Подвеска ротора | магнитная | |||||
| Охлаждение | водяное / возд. | |||||
| Предельный вакуум, Торр | 10-10 | |||||
| Максимальное давление на входе (вода/воздух), Торр | 1.5 / 0.01 | |||||
| Максимальное давление на выходе(вода/воздух), Торр | 3 / 0.3 | |||||
|
Быстрота действия, л/с |
||||||
| по азоту | 320 | |||||
| по гелию | 340 | |||||
| по водороду | 320 | |||||
|
Степень сжатия |
||||||
| по азоту | 1 х 109 | |||||
| по гелию | 8 х 104 | |||||
| по водороду | 1 х 104 | |||||
| Время выхода на режим, мин | Не более 5 | |||||
| Рабочая ориентация | Любая | |||||
|
Температура прогрева на входном фланце, оС |
<120 | |||||
| Входной фланец стандартов ISO, ConFlat | Ду100 | |||||
| Рекомендуемая быстрота действия форвакуумного насоса, л/мин | >200 | |||||
| Допустимое внешнее магнитное поле, Радиальное / осевое, мT | 3 / 15 | |||||
| Вес, кг | 14 | |||||
|
Входной фланец |
Модель насоса |
A |
D |
E |
G |
∅H |
∅J |
n-∅d |
|
|
TMP-303LMC |
|||||||||
|
CF100 |
262-81435-51 |
204 |
231 |
279 |
20 |
∅152 |
∅130,2 |
16-∅8,4 |
|
|
ISO100C |
262-81435-53 |
204 |
231 |
279 |
12 |
∅130 |
– |
– |
|
|
ISO100B |
262-81435-55 |
204 |
231 |
279 |
12 |
∅165 |
∅145 |
8-∅9 |
|
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос