Купить Насос вакуумный сухой Edwards EPX500NE

Заказать звонок

Задать вопрос

Центральный офис
Новосибирск, Академгородок, улица Николаева 11/5, 4 этаж
Офис в Новосибирске
Красный проспект 1, офис 214

8 (800) 707-44-73

Контактная информация

sales@spegroup.ru

Цена по запросу

Варианты цен

Цена по запросу

Подробности

Артикул: EPX500NE

Актуальность цен и наличие уточняйте у менеджера

Под заказ

Ваш менеджер

Андрей Рогозин

+7 (800) 707-44-73

Заказать звонок

Задать вопрос

В серии EPX используется уникальный запатентованный одновальный регенеративный/ступенчатый механизм Holweck®, который позволяет им перекачивать из атмосферы до предельного давления <1x10-4 мбар или <1x10-6 мбар в зависимости от модели. Они идеально подходят для применений, где требуется более высокое базовое давление, чем может обеспечить обычный первичный насос, и где в противном случае потребовались бы турбомолекулярный насос и первичный насос, а также для применений, которые часто переключаются с атмосферного давления на низкое, поскольку они могут работать непрерывно при всех давлениях на входе.

Технология

Насосная система EPX работает при давлении между атмосферным и предельным вакуумом, без смазки или герметизирующей жидкости в насосной камере. Это обеспечивает чистоту насосной системы без обратной миграции масла или жидкости в откачиваемую систему.

Статор насоса и закрытый двигатель охлаждаются встроенным контуром водяного охлаждения. Поэтому насос EPX подходит для применения в чистых помещениях, где вентиляторное охлаждение недопустимо. Трубопроводы подачи и возврата охлаждающей воды подключаются к насосу с помощью водяных соединителей (уточняется заказчиком). Охлаждающая вода должна подаваться в соответствии с условиями окружающей среды (влажность и температура), чтобы не была достигнута точка росы.

Насос оснащен фильтром питания EMC и инверторным приводом, который обеспечивает и управляет электроснабжением двигателя насоса. Светодиоды на передней крышке определяют состояние насоса EPX. Скорость двигателя зависит от давления на входе насоса. Когда насос запускается при давлении на входе, равном или близком к атмосферному, двигатель разгоняется до скорости, ограниченной током, который может подаваться инверторным приводом. По мере снижения давления на входе частота вращения двигателя увеличивается, пока в конечном итоге не достигнет заданной максимальной скорости. Если давление на входе увеличится, двигатель снова замедлится.

Насосами серии EPX NE можно управлять вручную с помощью локального дисплея и клавиатуры End User Control (EUC) или дистанционно с помощью терминала отображения насоса (PDT), если он установлен; им также можно управлять и контролировать по сети, которая подключается к насосу EPX через сетевой разъем. Когда управление насосами серии EPX LE осуществляется через модуль интерфейса инструмента (TIM), EUC просто отслеживает состояние насоса.

Насос EPX совместим с Fabworks 32.

Насос EPX поддерживается четырьмя виброизоляторами.

Датчики защиты насоса автоматически отключают насос при возникновении неисправности.

Серия EPX охватывает широкий спектр применений - от обработки пластин до процессов средней производительности.

Серия EPX ‘N’ включает газовый модуль, обеспечивающий продувку азотом, расширяющий диапазон применения для средних процессов, в которых ожидается низкий уровень агрессивных паров и твердых частиц.

Варианты исполнения

EPX500NE 208 В TIM 3/8 без водяного разъема.
EPX500NE 400 В TIM 3/8 без водяного разъема.
EPX500NE 208 В TIM 1/4 без водяного разъема.
EPX500NE 208 В SPI TIM 3/8 водяной разъем.
EPX500NE 400 В SPI TIM 1/4 водяной разъем.
EPX500NE 208 В TEL TIM 3/8 водяной разъем.
EPX500NE 400 В TEL TIM 3/8 водяной разъем.
EPX500NE 400 В TEL TIM 1/4 водяной разъем.
EPX500NE 208 В LAM TIM 3/8 водяной разъем.
EPX500NE 208 В MCM TIM 3/8 водяной разъем.
EPX500NE 400 В MCM TIM водяной разъем.

Применение

Блокировка нагрузки.
Перекачивающая камера.
Распыление PVD.
Озоление/прокладка PR.
Диэлектрическая травление.

Особенности

Компактность – EPX более компактен, чем эквивалентная комбинация турбомолекулярного насоса и первичного насоса.

Низкая стоимость владения – отсутствие планового технического обслуживания с 5-летним интервалом обслуживания

Уникальный насосный механизм, защищенный патентом – EPX может перекачивать из атмосферы в турбомолекулярное базовое давление и может работать непрерывно при любом давлении на входе. Не требуется отдельная “грубая откачка”.

Сверхчистый механизм – насосы EPX не содержат смазки или масла в вакууме и не представляют другого источника потенциального загрязнения.

Чрезвычайно надежный – основанный на проверенной в полевых условиях технологии IPX, EPX имеет наработку на отказ = 13 лет (SEMI E10) с периодами обслуживания примерно каждые 5 лет, чтобы максимально продлить срок службы насоса.

Водяное охлаждение – низкая тепловая нагрузка на окружающую среду.

Низкий уровень шума и вибрации – улучшенная рабочая среда. Идеально подходит для условий, чувствительных к вибрации.

Параметр	Значение
Пиковая скорость	500 м³/ч^-1
	295 футов³/мин^-1
	8338 л/мин^-1
Максимальный вакуум	<1x10^-6 мбар
	<7,5x10^-7 Торр
	<1x10^-4 Па
Время прогрева (до номинальной производительности)	30 мин
Входной фланец	ISO160
Выходной фланец	NW25
Шум	<59 дБ (А)
Минимальный расход охлаждающей воды	2 л/мин^-1
Температура охлаждающей воды	15–35 °C
Интерфейс подачи азота	трубка 1/4 дюйма (6,5 мм)
Давление подачи азота	3 x 10⁵ – 7 x 10⁵ Па
Минимальная чистота азота	99.95%
Электроснабжение	200/208 В, 50/60 Гц, 3 фазы
Мощность на пределе	1,4 кВт
Номинальная мощность двигателя	3,0 кВт
TIM	Нет
Вес	45,2 кг

На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».

Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»

Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.

Корзина