Трехосевая система спирального сканирования с функцией автофокусировки

EG-DL240-400-Z5-T — трехкоординатная (XZT) система обеспечивает спиральное сканирование с постоянной скоростью, поддерживает функцию автофокусировки и функцию захвата изображения.

Для позиционирования по осям X и Z используется линейный двигатель с высокоточными перекрестными роликовыми направляющими и цилиндрическим противовесом оси Z. Для позиционирования по оси Е используется технология прямого привода в паре с высокоточным энкодером.
Система обеспечивает линейную скорость позиционирования по осям XZ до 2000 мм/с, а максимальная скорость позиционирования по оси T достигает 6000 об/мин.

Основные преимущества:

- 3-осевая система спирального сканирования, обеспечивает сканирование с постоянной скоростью, поддерживающее автофокусировку и функцию захвата изображения с помощью камеры с равным интервалом срабатывания PSO для с спиральных траекторий.

-Низкий уровень биений.

- Т-образная ось с 12-дюймовым диском 4 кг и встроенным пневматическим контактным кольцом, поддерживают скорость вращения до 6000 об/мин. Таким образом, при уменьшении радиуса траектории со 150 мм до 10 мм линейная скорость платформы остается постоянной на уровне 2000 мм/с.

- Плоскостность и прямолинейностьхода по оси X ±2 мкм, прямолинейность хода по оси Z ±2 мкм.

- Абсолютная точность позиционирования по осям X и Z ±200 нм; Разрешение по оси T 0,1 угловая секунда с повторяемостью: ±0,5 угловых секунды и точностью позиционирования: ±1 угловая секунда.

- Максимальная осевая нагрузка по оси T составляет 10 кг, максимальная радиальная нагрузка — 2 кг.

Области применения:

- Обнаружение микроскопических дефектов: Система выполняет высокоскоростное сканирование по спиральной траектории для точного определения микроскопических дефектов на поверхности пластины (таких как царапины, загрязнение частицами и неравномерное травление). Абсолютная точность позиционирования ±200 нм по осям X и Z и высокое разрешением по оси T позволяет обнаруживать дефекты субмикронного уровня, значительно повышая контроль каества производства.

-Измерение контура поверхности: Благодаря 3D-спиральному сканированию и функции автофокусировки система может использоваться для создавания 3D-моделей контура поверхности пластин в реальном времени, измерения толщины тонких пленок, анализа высоты ступеней и определения топологии.