2-х осевой (XY) моторизированный позиционер с нанометровым разрешением и большим ходом
Серия 2-х осевых (XY) моторизированных позиционеров EG-DPL-XY отличается большим ходом, нанометровой точностью позиционирования и высокими динамическими характеристиками.Позиционеры этой серии имеют линейный двигатель, перекрестные роликовые направляющие и технологию обратной связи на нанометровом уровне специально разработанный для сверхточных промышленных и научно исследовательских задач.
Серия DPL-XY выдерживает максимальную горизонтальную нагрузку от 15 до 30 кг, имеет максимальную скорость 800 мм/с. Cтандартные диапазоны хода: 100 мм × 100 мм, 200 мм × 200 мм, 250 мм × 250 мм и 300 мм × 300 мм.
Области применения:
- Приложения, требующие сверхточной динамической коррекции ошибок, такие как обработка оптических волноводов и сканирование линий секвенирования генов;
- Процессы контроля, включая тестирование, измерение и контроль полупроводниковой продукции, а также определение шероховатости поверхности;
- Промышленные и научно исследовательские задачи, требующие точности позиционирования на нанометровом уровне, например такие как сверхточная лазерная обработка;
|
Технические характеристики |
EG-DPL-100XY |
EG-DPL-200XY |
EG-DPL-250XY |
EG-DPL-300XY |
||
|
Ход (XY) |
100х100 мм |
200х200 мм |
250х250 мм |
300х300 мм |
||
|
Точность |
±200 нм |
±250 нм |
±300 нм |
±400 нм |
||
|
Двусторонняя повторяемость |
±100 нм |
±150 нм |
||||
|
Тангаж |
12 угловых секунд |
15 угловых секунд |
16 угловых секунд |
18 угловых секунд |
||
|
Рыскание |
6 угловых секунд |
8 угловых секунд |
10 угловых секунд |
10 угловых секунд |
||
|
Плоскостность |
±1 мкм |
±1,5 мкм |
±2 мкм |
|||
|
Прямолинейность |
±1 мкм |
±1,5 мкм |
±2 мкм |
|||
|
Ортогональность |
8 угл. сек. |
|||||
|
Максимальная скорость |
800 мм/c
|
|||||
|
Непрерывная сила |
48,8 Н |
|||||
|
Максимальная сила |
340,8 Н |
|||||
|
Вертикальная грузоподъемность |
15 кг |
20 кг |
30 кг |
|||
|
Разрешение |
1 нм |
|||||
|
Минимальный шаг позиционирования |
5 нм |
|||||
|
Стабильность положения |
±3 нм |
|||||
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
