Компактный прецизионный моторизированный гексапод с параллельной кинематикой и шестью степенями свободы

Компактный прецизионный моторизированный гексапод HEX-S5.10.60 имеет 6 степенкй свободы, включая перемещение по осям XY, наклон по осям θX/θY, вертикальный подъем по оси Z и неограниченное вращение на 360° по осям θZ.

Линейные оси (XY/Z) оснащены линейными двигателями с высокоточными линейными энкодерами 4,88 нм, минимальный шаг перемещения 100 нм, повторяемость ±0,2~±0,3 мкм, абсолютная точность позиционирования ±1 мкм;
Оси наклона (θX/θY) приводятся в движение шаговыми двигателями, угловое разрешение 0,3 угловых секунды, повторяемость ±1 угловая секунда;
Вращательная ось θZ оснащена двигателем прямого привода для непрерывного вращения на 360°, минимальный угловой шаг 0,1 угловой секунды, повторяемость ±1 угловая секунда, погрешность углового позиционирования ±5 угловых секунд.
Все оси обладают обратной связью сверхвысокого разрешения и идеально подходят для процессов точной юстировки и микро/субмикронной сборки.

Основные преимущества:

- Максимальная скорость: 100 мм/с для XY, 15 мм/с для Z, 30 град/с для осей наклона, до 4 об/с для оси вращения.
- Высокопрочная конструкция с параллельной кинематикой исключает вибрацию и задержку при высокоскоростном позиционировании.
- Диапазон хода: ±30 мм (XY), ±5 мм (Z), ±2,5° (наклон θX/θY), неограниченное вращение θZ на 360°.
- Верхняя пластина имеет монтажные отверстия M6 и центральное сквозное отверстие φ100 для быстрой установки приспособлений, оптических линз и инструментов.
- Общий вес устройства 12 кг, горизонтальная грузоподъемность до 10 кг. Компактные габаритные размеры: 294,26 мм × 260 мм x 165,84 мм.

Области применения:

- Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность
6D-выравнивание для монтажа кристаллов и упаковки: высокоточная установка полупроводниковых пластин, светодиодов, мини/микро светодиодных чипов с угловой и планарной компенсацией на микронном уровне.
- Литография: многомерная микропозиционная регулировка положения для соответствия требованиям субмикронного выравнивания оптических трактов в литографии.
- Оптика, лазерная техника и прецизионная метрология.
- Калибровка машинного зрения и 3D-контроль: точное выравнивание по 6 степеням свободы для камер, линз и тестовых образцов.
- Автоматическая сборка микрокомпонентов: высокоточная сборка модулей мобильных камер, миниатюрных подшипников и сенсорных блоков.
- Сборка микродеталей медицинских устройств: калибровка линз эндоскопов, микрофлюидных чипов и медицинских датчиков.
- Научно исследовательские эксперименты.
- Аэрокосмическая прецизионная калибровка: создание наземных калибровочных стендов для оптических полезных нагрузок и линз. Наземное моделирование положения и проверка точности для аэрокосмических микрокомпонентов.