Прецизионный моторизированный гексапод с параллельной кинематикой и шестью степенями свободы
Прецизионный моторизированный гексапод E-HEX-90.6.60.60 с параллельной кинематикой и шестью степенями свободы обладает сверхвысокой точностью позиционирования и высокой грузоподъемностью. Идеально подходит для применений, требующих позиционирования по ннесколькими степенями свободы, у условия ограниченного пространства.Области применения:
- Выравнивание полупроводниковых пластин;- Отический контроль;
- Сверхточное управление оптическим трактом;
|
Параметр |
XY |
θXθY |
Z |
θZ |
|
Ход |
±30 мм |
±3° |
±30 мм |
±45° |
|
Тип двигателя |
Линейный двигатель |
Линейный двигатель |
Линейный двигатель |
Прямой привод |
|
Разрешение оптического энкодера |
4.88 нм (1 Vpp) |
4.88 нм (1 Vpp) |
4.88 нм (1 Vpp) |
0.04 угл. сек. |
|
Минимальный шаг |
100 нм |
0.3 угл. сек. |
100 нм |
0.1 угл. сек. |
|
Повторяемость |
±0.2 мкм |
±1 угл. сек. |
±0.3 мкм |
±1 угл. сек. |
|
Точность позиционирования |
±1 мкм |
- |
±1 мкм |
±5 угл. сек. |
|
Макс. скорость |
100 мм/с |
30 °/с |
15 мм/с |
4 об/с |
|
Макс. грузоподъемность |
10 кг |
|||
|
Вес |
25 кг |
|||
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
