2-х осевой (XY) моторизированный позиционер для сверхточного позиционирования с нанометровым разрешением
Серия позиционеров EG-DL130XY имеет нанометровое разрешение позиционированя максимальную скоростьюхода 800 мм/с и максимальное ускорением холостого хода 1g. Компактная конструкция не требует много пространства, упрощая размещение оборудования в ограниченном пространстве и повышая эффективность использования площади.Области применения:
Двухкоординатные XY-позиционеры серии EG-DL130XY отличаются высокой точностью и динамическими характеристиками, что делает их подходящими для таких применеий, как:- Производство полупроводниковых пластин;
- Производство оптических компонентов и лазерная обработка;
- Приложения, требующие сверхточного динамического контроля ошибок, такие как обработка оптических волноводов и сканирование линий секвенирования генов;
- Измерения и контроль, определение шероховатости поверхности и сверхточная лазерная обработка, требующая точности позиционирования на нанометровом уровне в промышленных и научноисследовательских проектах.
|
Технические характеристики |
EG-DL130XY-60-60 |
EG-DL130XY-110-110 |
EG-DL130XY-160-160 |
|
Ход (XY) |
60х60 мм |
110х110 мм |
160х160 мм |
|
Точность |
±250 нм |
±300 нм |
|
|
Двусторонняя повторяемость |
±100 нм |
±150 нм |
|
|
Тангаж |
10 угловых секунд |
12 угловых секунд |
15 угловых секунд |
|
Рыскание |
5 угловых секунд |
6 угловых секунд |
8 угловых секунд |
|
Плоскостность |
±1,5 мкм |
±1,75 мкм |
±2 мкм |
|
Прямолинейность |
±1,5 мкм |
±1,75 мкм |
±2 мкм |
|
Ортогональность |
5 угл. сек. |
||
|
Максимальная скорость |
800 мм/c
|
||
|
Непрерывная сила |
24,2 Н |
||
|
Максимальная сила |
170,4 Н |
||
|
Вертикальная грузоподъемность |
10 кг |
||
|
Разрешение |
1 нм |
||
|
Минимальный шаг позиционирования |
4 нм |
||
|
Стабильность положения |
±4 нм |
||
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
