Перцизионный шестиосевой гексапод с шестью степенями свободы
Перцизионный шестиосевой гексапод E-NZH-620 с шестью степенями свободы оснащенн синхронными двигателями с постоянными магнитами, что обеспечивает исключительную точность, повторяемость позиционирования и имеет компактный корпус.Основные характеристики:
- Высокая точность и повторяемость: Обеспечивает линейную повторяемость ±0,1 мкм и угловую повторяемость в пределах субмикрорадиан, что делает его идеальным для задач сверхточной юстировки.- Параллельная кинематическая конструкция: Обеспечивает более высокую жесткость, отличные динамические характеристики.
- Высокая грузоподъемность и удерживающая сила: Выдерживает нагрузку до 30 кг, с удерживающей силой 300 Н, что обеспечивает стабильность положения при отключении электроэнергии.
- Компактная и прочная корпус: Изготовлен из нержавеющей стали и алюминия для высокой жесткости и коррозионной стойкости, с массой всего 11 кг.
- Широкий диапазон рабочих температур: Разработан для надежной работы в условиях эксплуатации при температуреот -10°C до 50°C.
Области применения:
- Производство полупроводниковой продукции и выравнивание пластин.- Прецизионная сборка и тестирование оптических компонентов.
- Микросборка и упаковка в производстве электроники.
- Биотехнологические и медико-биологические исследования.
- Калибровка аэрокосмических компонентов.
- Высокоточные многоосевые метрологические системы.
|
Характеристика |
Параметр |
Значение |
Ед. изм. |
|
Линейное перемещение (X/Y/Z) |
Ход |
±25 / ±27.5 / ±14 |
мм |
|
|
Минимальный шаг (X/Y) |
0.3 |
мкм |
|
|
Минимальное шаговое перемещение (Z) |
0.25 |
мкм |
|
|
Повторяемость (X/Y/Z) |
±0.25 / ±0.5 / ±0.1 |
мкм |
|
|
Люфт (X/Y/Z) |
2003/3/1 |
мкм |
|
|
Макс. скорость (X/Y/Z) |
2.5 |
мм/c |
|
Угловое перемещение (θX/θY/θZ) |
Ход |
±10.5 / ±11.5 / ±19 |
° |
|
|
Минимальное шаговое перемещение (θX/θY) |
3.5 |
мкрад |
|
|
Минимальное шаговое перемещение (θZ) |
4 |
мкрад |
|
|
Повторяемость (θX/θY/θZ) |
±2 / ±2 / ±2.5 |
мкрад |
|
|
Люфт (θX/θY/θZ) |
20 / 20 / 25 |
мкрад |
|
|
Макс. скорость (θX/θY/θZ) |
27 |
мрад/с |
|
Механические характеристики |
Жёсткость (X/Y/Z) |
1.7 / 1.7 / 7 |
Н/мкм |
|
|
Грузоподъёмность (гориз. / люб. направление) |
30/15 |
кг |
|
|
Удерживающее усилие (при отключении питания) |
300/150 |
Н |
|
Прочее |
Тип двигателя |
Синхронный двигатель с постоянными магнитами |
|
|
|
Рабочая температура |
от -10 до 50 |
°C |
|
|
Масса |
11 |
кг |
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
