Моторизированная 6-осевая  система позиционирования

Моторизированная 6-осевая система позиционирования HEX-S5.10.60 имеет 6 степеней свободы, включая позиционирование по осям XY, наклон по осям θX/θY, вертикальный подъем по оси Z и неограниченное вращение на 360° по оси θZ.

Основные преимущества:

- Линейные оси (XY/Z) оснащены линейными двигателями с высокоточными линейными энкодерами 4,88 нм, минимальным шагом перемещения 100 нм, повторяемостью ±0,2~±0,3 мкм и абсолютной точностью позиционирования ±1 мкм;
- Оси наклона (θX/θY) приводятся в движение шаговыми двигателями, угловое разрешение 0,3 угловых секунды, повторяемостью ±1 угловая секунда;
- Вращательная ось θZ оснащена двигателем прямого привода для непрерывного вращения на 360°, минимальным угловым шагом 0,1 угловой секунды, повторяемостью ±1 угловая секунда, погрешностью углового позиционирования ±5 угловых секунд.
- Все оси имеют обратную связь свервысокго разрешения и идеально подходят для процессов сверхточной юстировки и микро/субмикронной сборки.

Максимальная скорость: 100 мм/с для осей XY, 15 мм/с для оси Z, 30 град/с для осей наклона, до 4 об/с для оси вращения. Высокопрочная конструкция исключает вибрацию и задержку при высокоскоростном позиционировании, обеспечивая баланс между высокой производительностью и стабильностью позиционирования.

Диапазон перемещения: ±30 мм (XY), ±5 мм (Z), ±2,5° (наклон θX/θY), неограниченное вращение θZ на 360°. Верхняя пластина имеет монтажные отверстий M6 и центральное сквозное отверстие φ100 для быстрой установки приспособлений, оптических линз и инструментов.

Общий вес устройства составляет 12 кг, горизонтальная грузоподъемность 10 кг. Компактные габаритные размеры (294,26 × 260 мм, высота 165,84 мм).

Все параметры точности калибруются в идеальных лабораторных условиях при постоянной температуре с использованием специализированных контроллеров движения для гарантии заявленной производительности.

Области применения:

1. Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
6D-выравнивание для монтажа кристаллов и упаковки: высокоточная установка пластин, светодиодов, мини/микросветодиодных чипов с угловой и планарной компенсацией на микронном уровне.

2. Оптика, лазеры и прецизионная метрология.
Юстрировка оптики и выравнивание волокон: 6-осевая юстировка оптических устройств.
Испытательный стенд для интерферометров и спектрометров: точная многоугловая и многомерная настройка положения оптических компонентов.
Калибровка машинного зрения и 3D-инспекция: точное 6-осевое выравнивание положения камер, линз и тестовых образцов.

3. Оборудование для точной сборки и автоматизации
Автоматическая сборка микрокомпонентов: высокоточная сборка модулей мобильных камер, миниатюрных подшипников и сенсорных блоков;
Сборка микродеталей медицинских устройств: калибровка линз эндоскопов, микрофлюидных чипов и медицинских датчиков.

4. Аэрокосмическая прецизионная калибровка
Наземный калибровочный стенд для оптических полезных нагрузок и линз спутников;
Наземная калибровка и проверка точности для аэрокосмических микрокомпонентов.