Компактный прецизионный линейный моторизированный позиционер
Компактные прецизионные линейные моторизированные позиционеры серии E-UMS-X имеют высокоточные поперечные роликовые направляющие с функцией защиты от ползучести и линейный двигатель.Высокопроизводительная система управления приводом обеспечивает стабильное позиционирование с шагом 10 нм, что является важным показателем, который трудно гарантировать для обычных линейных направляющих и линейных двигателей.
Основные преимущества:
- Сверхвысокая точность позиционирования и отличные динамические характеристики.- Колебания скорости менее одной тысячной.
- Бесшумные направляющие с функцией предотвращения ползучести.
- Длительное срок эксплуатации без технического обслуживания.
На выбор предлагаются экономичные инкрементальные энкодеры, метрологические инкрементальные энкодеры и абсолютные измерительные энкодеры (не требуется привязка при включении питания).
Возможны комбинации создания 2-осевых и 3-осевых позиционеров.
Области применения:
- Промышленность и нучные исследования.- Метрология.
- Фотоника.
- Прецизионное сканирование прт производстве полупроводниковых пластин или плоских дисплеев.
|
Технические характеристики |
UMS130-60X |
-110X |
-160X |
|
Тип мотора |
Трехфазный двигатель |
||
|
Разрешение оптического энкодера |
0,1 мкм (опционально до 1 нм) |
||
|
Тяга двигателя |
Непрерывное усилие 40 Н/пиковое усилие 90 Н |
||
|
Тип ограничения позиции |
Механические, фотоэлектрические, программные (тройная предельная защита) |
||
|
Минимальный шаг |
100 нм |
||
|
Ход |
60 мм |
110 мм |
160 мм |
|
Точность |
±0,3 мкм (калибровка ±0,5 мкм) |
||
|
Повторяемость |
±0,1 мкм (±50 нм соответствует решетке с размером более 5 нм) |
||
|
Плоскостность |
≤±3,5 мкм |
||
|
Прямолинейность |
2 мкм |
||
|
Максимальная скорость |
300 мм/с |
||
|
Максимальная грузоподъемность |
6 кг |
8 кг |
12 кг |
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
