Падающий свет с длинами волн от 200 до 1700 нм по вертикали освещает поверхность тонкой пленки. когда происходит пропускание тонкой пленки, ATGX310 может использовать свет, отраженный через верхнюю и нижнюю границы тонкой пленки, для создания наложенной интерференционной картины, расстояние между синусоидальными волнами рисунка в сочетании с показателем преломленияматериала, может использоваться для расчета толщины материалов.
Характеристики
- Оптическая система: дейтериевый галогенный источник света; коллимирующее зеркало.
- Приемник: спектрометр оптического волокна; Длина волны: 200-1100; диапазон измерения: 0-100%.
- Технические параметры: Точность длины волны ± 0,5 нм; Повторение длины волны ≤0,2 нм; Спектральная полоса пропускания: 1 нм; Остаточный свет ≤0,05%; Точность пропускания ± 0,5%; Повторение пропускания ≤0,5%.
Области применения
- Оптическая система измерения толщины тонкой пленки может быть применена к секторам полупроводников, LCD, TFT, PDP, LED, с сенсорным экраном, автомобильной лампой, медицинской, солнечной энергией, полимером, стеклом и т. д.
- Очки, солнцезащитные очки, солнцезащитная защитная пленка.
- Различные оптические элементы, фильтры и т. д.
- Плоское стекло, пластиковое изделие.
- Дисплей мобильного телефона, ЖК.
- Другие прозрачные или полупрозрачные материалы.
|
Модель |
ATGX310-VIS |
ATGX310-XR |
ATGX310-DUV |
ATGX310-NIR |
|
Длина волны |
400-850 нм |
250-1060 нм |
190-1100 нм |
900-1700нм |
|
Диапазон толщины |
50 нм-20 мкм |
10 нм-100 мкм |
1 нм-100 мкм |
100 нм-250 мкм |
|
Разрешение по толщине |
0,1 нм |
0,1 нм |
0,1 нм |
0,1 нм |
|
Повторяемость |
0,3 нм |
0,3 нм |
0,3 нм |
1,0 нм |
|
Угол падения |
90° |
90° |
90° |
90° |
|
Количество слоев |
До 10 слоев |
До 10 слоев |
До 10 слоев |
До 10 слоев |
|
Образец |
Прозрачная или полупрозрачная пленка |
Прозрачная или полупрозрачная пленка |
Прозрачная или полупрозрачная пленка |
Прозрачная или полупрозрачная пленка |
|
Режим измерения |
Отражение и пропускание |
Отражение и пропускание |
Отражение и пропускание |
Отражение и пропускание |
|
Грубое измерение толщины пленки |
ДА |
ДА |
ДА |
ДА |
|
Скорость измерения |
Самый короткий 1 мс |
Самый короткий 1 мс |
Самый короткий 1 мс |
Самый короткий 1 мс |
|
Он-лайн? |
ДА |
ДА |
ДА |
ДА |
|
Размер пятна |
200 мкм/400 мкм |
200 мкм/400 мкм |
200 мкм/400 мкм |
200 мкм/400 мкм |
|
Настройка: 100 мкм |
Настройка: 100 мкм |
Настройка: 100 мкм |
Настройка: 100 мкм |
|
|
Совпадение микроскопа |
ДА |
ДА |
ДА |
ДА |
|
ПЗС-изображение |
ДА |
ДА |
ДА |
ДА |
|
Выбор сканирования |
150 мм x 300 мм |
150 мм x 300 мм |
150 мм x 300 мм |
150 мм x 300 мм |
|
Сканирующая платформа xy |
Сканирующая платформа xy |
Сканирующая платформа xy |
Сканирующая платформа xy |
|
|
Совместимость с вакуумом |
ДА |
ДА |
ДА |
ДА |
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
