Технология, разрабатываемая учёными, позволит увеличить скорость нанесения тонких плёнок
Исследователям предстоит изучить параметры и характеристики плазменных электронных источников, формирующих электронные пучки в условиях форвакуума в кислороде или смеси кислорода с инертным газом. После чего предполагается проведение исследований характеристик и свойств покрытий в зависимости от режимов осаждения и выполнение работы по испарению материалов в кислородной среде и нанесению оксидных покрытий.
По предварительным оценкам новая технология нанесения тонких плёнок позволит ускорить процесс в 10 раз без увеличения стоимости такого нанесения.
«Кроме того, благодаря большей устойчивости процесса испарения с одновременным окислением технология будет проще в реализации при улучшении качества нанесения», — отмечает профессор кафедры физики ТУСУРа Виктор Бурдовицин.
Источник: ТУСУР