Анализаторы остаточных газов Stanford Research Systems

Анализаторы остаточных газов с открытым ионным источником

Анализатор остаточных газов представляет собой компактный масс-спектрометр, который можно подсоединить непосредственно к вакуумной камере. Принцип работы одинаков у всех анализаторов остаточных газов: небольшая доля молекул газа ионизируется, получившиеся положительные ионы разделяются по массам и измеряются. Таким образом можно быстро идентифицировать состав газовой смеси присутствующий в вакуумной камере а после соответствующей калибровки, можно вычислить абсолютные концентрации или абсолютные парциальные давления компонентов газовой смеси.

• Диапазон измеряемых масс: 1-100 а.е.м. (RGA100), 1-200 а.е.м. (RGA200), 1-300 а.е.м. (RGA300);
• Детектор: цилиндр Фарадея (FC) и сменный электронный умножитель (ЕМ) Опция 01;
• Рабочее давление: ниже 10-4 Торр;
• Минимальное определяемое парциальное давление: 5*10-11Торр (цилиндр Фарадея), 5*10-14Торр (электронный умножитель);
• Стабильность измерения масс: ±0,1 а.е.м. после 30 мин работы.

Анализаторы остаточных газов с закрытым ионным источником

Анализатора остаточных газов присоединяемые непосредственно к рабочей камере, но, в отличии от анализаторов остаточных газов с открытым ионным источником (RGA), приборы CIS одновременно подключаются к высоковакуумному турбомолекулярному насосу, обеспечивающему нахождение ионизатора при давлении 10-9 мм. рт. ст. Значительным отличием анализаторов CIS является использование ионизатора из коррозионно-стойких материалов что позволяет использовать ионизатор с закрытым ионным источником для анализа коррозионных газов (таких как WF6 или силан).

• Диапазон масс: 1-100 а.е.м. (CIS100), 1-200 а.е.м. (CIS200), 1-300 а.е.м. (CIS300);
• Тип фильтра масс: квадрупольный;
• Детектор: Чашка Фарадея FC и Электронный умножитель EM;
• Разрешение: лучше 0,5а.е.м. 10% по высоте пика;
• Рабочая температура: 70С макс.

Атмосферные анализаторы серии QMS

Анализаторы могут осуществлять как аналоговое, так и гистограммное сканирование во всем допустимом диапазоне масс. Анализ остаточных газов опирается на интерпретацию спектральных данных, полученных в этих режимах, для полного (качественного и количественного) описания вакуумной среды.

Анализаторы можно разделить на две части: система подвода газа и масс-спектрометр. Эти системы работают независимо друг от друга. Система подвода газа втягивает исследуемый газ и при пониженном давлении подводит его к спектрометру. Спектрометр анализирует подводимый к нему газ. В камере RGA поддерживается давление 10−6 мбар с помощью гибридного турбомолекулярного насоса. Поток через камеру RGA соединяется с обходным потоком. Идея соединения двух потоков является ключевой для компактности QMS, так как иначе потребовалось бы два насоса.

• Диапазон масс: 100 а.е.м. (QMS100), 200 а.е.м. (QMS200), 300 а.е.м. (QMS300);
• Тип фильтра масс: квадрупольный;
• Детектор: Чашка Фарадея FC и Электронный умножитель EM;
• Разрешение: лучше 0,5а.е.м. 10% по высоте пика;
• Чувствительность: <1ppm;
• Рабочее давление: 1*10-6 Торр.

Атмосферные анализаторы серии UGA

Газоанализаторы UGA состоит из двух главных подсистем. Первая – система пробоподготовки, другая — анализатор — используется для анализа легких газов. В качестве анализатора применяется квадрупольный масс-спектрометрический детектор RGA.

Устройства UGA также просты в управлении и обслуживании. Всеми компонентами можно управлять как с передней панели, так и с удаленного компьютера. Пользователь может непосредственно управлять всеми насосами, клапанами и нагревателями с передней панели.

• Диапазон масс: до 100 а.е.м. (UGA100), до 200 а.е.м. (UGA200), до 300 а.е.м. (UGA300);
• Тип фильтра масс: квадрупольный;
• Детектор: Чашка Фарадея FC и Электронный умножитель EM;
• Разрешение: лучше 0,5 а.е.м. 10% по высоте пика;
• Чувствительность: <1ppm.