Серия TG-MI предназначена для снижения скорости образования конденсата внутри турбомолекулярного насоса (TMP). Запатентованная компанией Osaka теплоизоляционная конструкция с системой регулирования температуры (TMS) стала эффективной.
Энергоэффективное решение для получения побочных продуктов процесса, образующихся внутри TMP
- Сочетая тепло, выделяемое высокоскоростным ротором TMP, и встроенную TMS (систему управления температурой), температуру внутри насоса можно эффективно регулировать до 90℃ без риска ускоренного выхода материала из строя - улучшенное время безотказной работы системы ＆ увеличенный межремонтный период (среднее время между обслуживаниями).
- Запатентованная энергоэффективная теплоизоляционная конструкция улучшает общую теплопередачу, сохраняя при этом горячие точки внутри TMP, где вероятно образование конденсата побочных продуктов процесса, что приводит к значительному сокращению образования побочных продуктов.
- Увеличен срок службы насоса.
- Снижена частота технического обслуживания насоса.
- Увеличено время безотказной работы системы.
Энергоэффективная конструкция с термоизоляцией Theraml
- Запатентованная теплоизолированная конструкция сохраняет и перераспределяет тепло сжатия, генерируемое высокоскоростным ротором, в определенные горячие точки внутри TMP, предотвращая конденсацию побочных продуктов во время технологического процесса.
- В сочетании со встроенным TMS достигается экономия энергии по сравнению со стандартным методом прямого TMS.
- Улучшенная теплопередача, позволяющая пользователям эффективно поддерживать температуру "внутри" насоса до 90 ℃ - значительное повышение универсальности процесса.
Применение
- Полупроводниковые процессы, инструменты для производства LCD/TFT/MEMS.
|
Параметр |
Значение |
||
|
Модель |
TGkine3300MI |
||
|
Входной фланец |
ISO-B320/VG300 |
||
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
3300 |
|
|
N2 (с защитным экраном) |
3100 |
||
|
H2 |
2700 |
||
|
Макс. степень сжатия |
N2 |
> 1×108 |
|
|
H2 |
3x103 |
||
|
Базовое давление (Pa/Torr) |
< 2×10-7/< 1.5×10-9 |
||
|
Макс. пропускная способность1 (sccm) |
N2 |
2500 |
|
| Ar | 1800 | ||
|
Время запуска (min) |
≦11 |
||
|
Время отключения (min) |
≦13 |
||
|
Макс. обратное давление |
(Pa/Torr) |
100 |
|
| (Torr) | 0.75 | ||
|
Рекомендуемый подпорный вакуумный насос (l/min) |
≧2000 |
||
|
Вес (kg) |
73/74 |
||
Примечания
1В случае вспомогательного вакуумного насоса производительностью 5000 л/мин.
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
С момента своего основания в 1971 году компания OSAKA VACUUM зарекомендовала себя как лидер в области разработки и производства турбомолекулярных насосов (ТМН) в Японии. Она первой на рынке представила турбомолекулярные насосы, а в 1983 году разработала первый в мире ТМН со составным ротором, который стал новым стандартом в отрасли.
