Турбомолекулярные насосы со сверхнизкой вибрацией серии TG-ML.
Усовершенствованный алгоритм подавления вибрации устраняет нежелательную амплитуду вибрации, возникающую в результате постоянного ускорения быстроходного ротора.
Менее 1 нм (o-p), измеряемое по радиальному и осевому ускорению.
В сочетании с внешними демпферами серия TG-ML может обеспечить сверхнизкий уровень шума менее 0,1 нм (op).
Применение
- Электронная микроскопия сверхвысокого разрешения, аналитические приборы, R＆Ds.
- Электронно-лучевая литография, EUV, XPS, инструмент для определения ширины линии CD, SEM/TEM.
|
Параметр |
Значение |
||
|
Модель |
TG390ML |
||
|
Входной фланец |
VG100 |
||
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
340 |
|
|
N2 (с защитным экраном) |
320 |
||
|
H2 |
290 |
||
|
Макс. степень сжатия |
N2 |
1x108 |
|
|
H2 |
4.5x103 |
||
|
Базовое давление (Pa/Torr) |
< 1×10-6/< 1×10-7 |
||
|
Макс. пропускная способность (sccm) |
N2 |
< 7.5×10-9/< 7.5×10-10 |
|
|
Время запуска (min) |
2-3 |
||
|
Время отключения (min) |
4-5 |
||
|
Макс. обратное давление (Pa/Torr) |
400/3 |
||
|
Рекомендуемый подпорный вакуумный насос (l/min) |
≧160 |
||
|
Вес (kg) |
14/17 |
||
|
Контроллер |
TC010M |
||
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
С момента своего основания в 1971 году компания OSAKA VACUUM зарекомендовала себя как лидер в области разработки и производства турбомолекулярных насосов (ТМН) в Японии. Она первой на рынке представила турбомолекулярные насосы, а в 1983 году разработала первый в мире ТМН со составным ротором, который стал новым стандартом в отрасли.
