Серия TG-MU предназначена для эффективного откачивания легких газов из области высокого вакуума в область сверхвысокого вакуума за счет снижения газовыделения материалов и повышения эффективности сжатия водорода.
Предельный вакуум может быть реализован в диапазоне порядка 10-9 Па (в пределах 10-11 Торр) в течение короткого периода прогрева.
Применение
- Аналитические приборы, анализ поверхности и сверхвысокого вакуума R＆Ds.
- Сверхвысоковольтные процессы обработки тонких пленок полупроводников и МЭМС.
- Энергетические исследования, ускорители, ядерный синтез и т.д.
|
Параметр |
Значение |
|
|
Модель |
TG1300MU |
|
|
Входной фланец |
CF200 |
|
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
1300 |
|
N2 (с защитным экраном) |
1230 |
|
|
H2 |
1200 |
|
|
Макс. степень сжатия |
N2 |
1×108 |
|
H2 |
6.0×104 |
|
|
Базовое давление (Pa/Torr) |
< 1×10-8/< 7.5×10-11 |
|
|
Макс. пропускная способность1 (sccm) |
N2 |
3000 |
|
Время запуска (min) |
4-5 |
|
|
Время отключения (min) |
4-5 |
|
|
Максимальное обратное давление (Pa/Torr) |
500/3.8 |
|
|
Рекомендуемый подпорный вакуумный насос (l/min) |
≧250 |
|
|
Вес (kg) |
42 |
|
|
Контроллер |
TC010MA |
|
Примечяния
1В случае вспомогательного вакуумного насоса производительностью 1000 л/мин.
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
С момента своего основания в 1971 году компания OSAKA VACUUM зарекомендовала себя как лидер в области разработки и производства турбомолекулярных насосов (ТМН) в Японии. Она первой на рынке представила турбомолекулярные насосы, а в 1983 году разработала первый в мире ТМН со составным ротором, который стал новым стандартом в отрасли.
