Серия насосов TG-M. Использование подшипников с магнитной подвеской обеспечивает полностью безмасляную вытяжку, установку в любом направлении и более длительные циклы между техническими обслуживаниями. Модельный ряд продукции предлагает модели производительностью от 300 л/с до 3400 л/с.
Особенности
- Любая ориентация.
- Компактный размер.
- Энергосберегающий.
- Быстрые запуски и остановки.
- Отсутствие вибрации.
- Модель без муфты.
- Автоматическая калибровка.
- Высокая пропускная способность.
- Регулирование скорости вращения.
- Последовательная связь.
- Сертификация стандартов безопасности для NRTL SEMI-S2 CE.
Применение
- Производство полупроводников.
- Выхлоп электронного пистолета, выхлоп источника ионизации.
- Производство FPD.
- Обработка поверхности, модификация поверхности.
- Производство различных электронных компонентов.
- Оборудование для анализа, тестирования.
- Производство ламп, оптических компонентов.
- Ускоряющее устройство, радиационная установка, исследования ядерного синтеза.
- Термическая обработка.
- Исследования и разработки.
|
Параметр |
Значение |
|
|
Входной фланец |
VG150 |
|
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
400 |
|
N2 (с защитным экраном) |
370 |
|
|
H2 |
300 |
|
|
Макс. степень сжатия |
N2 |
1×108 |
|
H2 |
4.5×103 |
|
|
База давления |
VG・ISO-B/CF (Pa) |
<1×10-6 |
|
VG・ISO-B/CF (Torr) |
<7.5×10-9 |
|
|
Макс. пропускная способность1 (sccm) |
N2 |
2000 |
|
Время запуска (min) |
2~3 |
|
|
Время отключения (min) |
4~5 |
|
|
Макс. поддержка давления (Pa/Torr) |
400/3 |
|
|
Рекомендуется форвакуумных насосов (l/min) |
≧160 |
|
|
Позиция |
Любая направленность |
|
|
Вес (kg) |
VG･ISO-B/CF |
14/17 |
|
Контроллер |
TC010MA |
|
Примечания
1При использовании подпорного вакуумного насоса производительностью 320 л/мин.
Температура окружающей среды для использования. Диапазон температур окружающей среды, обеспечивающий достижение максимального давления, составляет 10-23 ℃. Допустимая температура окружающей среды составляет 10-32℃ для воздушного охлаждения и 10-40℃ для водяного. Максимальная температура охлаждающей воды, обеспечивающая предельное давление, составляет 30℃, а допустимый диапазон температур охлаждающей воды составляет 10-35℃.
Соответствующие газы. Некоторые типы откачиваемого газа могут повредить насос.
Контроллер
|
Параметр |
Значение |
|
|
Модель |
TC010MA |
|
|
Входное напряжение (ACV) |
200-240(±10%) |
|
|
Входная частота (Hz) |
50/60 |
|
|
Входные фазы |
Single |
|
|
Входная мощность (VA) |
700 |
|
|
Номинальная выходная частота (Hz) |
680 |
|
|
Вес (kg) |
11 |
|
|
Стандартные принадлежности
|
Входной кабель (5м): 1 |
|
|
TMP |
TG420M |
|
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
С момента своего основания в 1971 году компания OSAKA VACUUM зарекомендовала себя как лидер в области разработки и производства турбомолекулярных насосов (ТМН) в Японии. Она первой на рынке представила турбомолекулярные насосы, а в 1983 году разработала первый в мире ТМН со составным ротором, который стал новым стандартом в отрасли.
