В серии насосов TG-F используются шарикоподшипники, смазанные консистентной смазкой. Ударопрочная конструкция позволяет монтировать турбомолекулярный насос на движущемся оборудовании или движущихся деталях. Модельный ряд продукции предлагает модели производительностью от 50 л/с до 2400 л/с.
Особенности
- Любая ориентация.
- Компактный размер.
- Энергосберегающий.
- Быстрый запуск.
- Быстрое отключение с помощью газоотвода.
- Прочная конструкция для подачи воздуха.
- Высокая степень сжатия.
- Встроенный тип контроллера.
- Сертифицированный стандарт безопасности NRTL/SEMI-S2/CE (для TG60F-20).
Применение
- Производство полупроводников.
- Выхлоп электронного пистолета, выхлоп источника ионизации.
- Производство FPD.
- Обработка поверхности, модификация поверхности.
- Производитель различных электронных компонентов.
- Оборудование для анализа, тестирования.
- Производство ламп, оптических компонентов.
- Ускоряющее устройство, радиационная установка, исследования ядерного синтеза.
- Термическая обработка.
- Исследования и разработки.
|
Параметр |
Значение |
||
|
Модель |
TG70F |
||
|
Входной фланец |
ISO-R63/CF63 |
||
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
70/75 |
|
|
N2 (с защитным экраном) |
65/70 |
||
|
H2 |
40/45 |
||
|
Макс. степень сжатия |
N2 |
1×108 |
|
|
H2 |
1×105 |
||
|
Базовое давление |
ISO-R(Pa/Torr) |
<5×10-7/<3.8×10-9 |
|
|
CF (Pa/Torr) |
<1×10-7/<7.5×10-10 |
||
|
Макс. пропускная способность1 (sccm) |
N2 (Air-cooling) |
10 |
|
|
N2 (Force air-cooling) |
20 |
||
|
Время запуска (min) |
2-2.5 | ||
|
Максимальное обратное давление (Pa/Torr) |
1200/9 |
||
|
Рекомендуемый подпорный вакуумный насос (l/min) |
≧25 |
||
| Позиция | Любая ориентация | ||
|
Вес (kg) |
ISO-R/CF |
3/5 |
|
|
Контроллер |
TC75 (on-board)2 |
||
|
Входное напряжение (V) |
DC24V |
||
|
Макс. потребляемая мощность (W) |
120W |
||
Примечания
1Допустимый максимальный расход при производительности вспомогательного насоса 25 л/мин.
2Также доступен дополнительный отдельный тип.
Соответствующие газы. Некоторые рабочие газы могут испортить консистентную смазку и внутренние детали.
Контроллер
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
TC76 |
|
Входное напряжение (ACV) |
100-230 (±10%) |
|
Входная частота (Hz) |
50/60 |
|
Входные фазы |
Single |
|
Входная мощность (VA) |
160 |
|
Номинальная выходная частота (Hz) |
1500 |
|
Ве5с (kg) |
2.4 |
|
Стандартные принадлежности |
Входной разъем: 1 |
|
TMP |
TG70F-20 |
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
С момента своего основания в 1971 году компания OSAKA VACUUM зарекомендовала себя как лидер в области разработки и производства турбомолекулярных насосов (ТМН) в Японии. Она первой на рынке представила турбомолекулярные насосы, а в 1983 году разработала первый в мире ТМН со составным ротором, который стал новым стандартом в отрасли.
