В серии насосов TG-F используются шарикоподшипники, смазанные консистентной смазкой. Ударопрочная конструкция позволяет монтировать турбомолекулярный насос на движущемся оборудовании или движущихся деталях. Модельный ряд продукции предлагает модели производительностью от 50 л/с до 2400 л/с.
Особенности
- Любая ориентация.
- Компактный размер.
- Энергосберегающий.
- Быстрый запуск.
- Быстрое отключение с помощью газоотвода.
- Прочная конструкция для подачи воздуха.
- Высокая степень сжатия.
- Встроенный тип контроллера.
- Сертифицированный стандарт безопасности NRTL/SEMI-S2/CE (для TG60F-20).
Применение
- Производство полупроводников, FPD, электронных компонентов и других.
- Устройство для анализа и обследования.
- Исследования и разработки и т.д.
|
Параметр |
Значение |
||
|
Модель |
TG60F |
TG60F-20 |
|
|
Входной фланец |
ISO-R63, CF63, (KF40)3 |
||
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
60 |
|
|
N2 (с защитным экраном) |
55 |
||
|
H2 |
22 |
||
|
Макс. степень сжатия |
N2 |
2×107 |
|
|
H2 |
2×103 |
||
|
Базовое давление |
VG・ISO-R/CF (Pa) |
<5×10-6/<1×10-6 |
|
|
VG・ISO-R/CF (Torr) |
<3.8×10-8/<7.5×10-9 |
||
|
Макс. пропускная способность1 (sccm) |
N2 (Air-cooling) |
10 |
|
|
N2 (Force air-cooling) |
20 |
||
|
Время запуска (min) |
1.5-2 |
||
|
Максимальное обратное давление (Pa/Torr) |
800 (6) |
||
|
Рекомендуемый подпорный вакуумный насос (l/min) |
≧25 |
||
|
Вес (kg) |
ISO-R/CF |
3.4/5.4 |
|
|
Контроллер2 |
TC65 |
TC66 |
|
|
Входное напряжение (V) |
DC24V |
AC100-230V (±10%) |
|
|
Макс. потребляемая мощность (W) |
120W |
160VA |
|
Примечания
1В случае вспомогательного вакуумного насоса производительностью 25 л/мин.
2TC65 - это встроенный контроллер, TC66 - это стоечный контроллер.
3Обратитесь отдельно к техническим характеристикам впускного фланца KF40.
Температура окружающей среды для использования. Диапазон температур окружающей среды, обеспечивающий достижение предельного давления, составляет 10 ~ 23℃. Допустимый диапазон температур окружающей среды составляет от 8 до 38℃.
Соответствующие газы. В зависимости от количества откачиваемого газа некоторые из них могут повредить насос.
Контроллер
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
TC66 |
|
Входное напряжение (ACV) |
100-230 |
|
Входная частота (Hz) |
50/60 |
|
Входные фазы |
Single |
|
Входная мощность (VA) |
160 |
|
Номинальная выходная частота (Hz) |
1150 |
|
Ве5с (kg) |
2.4 |
|
Стандартные принадлежности |
Входной разъем: 1 |
|
TMP |
TG60F-20 |
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
С момента своего основания в 1971 году компания OSAKA VACUUM зарекомендовала себя как лидер в области разработки и производства турбомолекулярных насосов (ТМН) в Японии. Она первой на рынке представила турбомолекулярные насосы, а в 1983 году разработала первый в мире ТМН со составным ротором, который стал новым стандартом в отрасли.
