В серии насосов TG-F используются шарикоподшипники, смазанные консистентной смазкой. Ударопрочная конструкция позволяет монтировать турбомолекулярный насос на движущемся оборудовании или движущихся деталях. Модельный ряд продукции предлагает модели производительностью от 50 л/с до 2400 л/с.
Особенности
- Любая ориентация.
- Компактный размер.
- Энергосберегающий
- Быстрый запуск.
- Быстрое отключение с помощью газоотвода.
- Прочная конструкция для подачи воздуха.
- Последовательная связь. Последовательный интерфейс RS232C.
Применение
- Производство полупроводников.
- Обработка поверхности, модификация поверхности.
- Производство ламп, оптических компонентов.
- Исследования и разработки.
- Выхлоп электронного пистолета, выхлоп источника ионизации.
- Производство различных электронных компонентов.
- Ускоряющее устройство, радиационная установка, исследования ядерного синтеза.
- Производство FPD.
- Оборудование для анализа, тестирования.
- Термическая обработка.
|
Параметр |
Значение |
|
|
Модель |
TG50F |
|
|
Входной фланец |
VG65/ISO-R63/CF63 |
|
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
51 |
|
N2 (с защитным экраном) |
49 |
|
|
H2 |
12 |
|
|
Максимальная степень сжатия |
N2 |
1.4×107 |
|
H2 |
5×102 |
|
|
Базовое давление |
VG･ISO-R/CF (Pa) |
<3×10-6 |
|
VG･ISO-R/CF (Torr) |
<2.3×10-8 |
|
|
Максимальная пропускная способность (sccm)1 |
N2 |
80 |
|
Время включения (min) |
1-1.5 |
|
|
Время отключения (min) |
1-1.5 |
|
|
Максимальное обратное давление (Pa/Torr) |
1330/10 |
|
|
Рекомендуемый подпорный вакуумный насос (l/min) |
≧50 |
|
|
Позиция |
Любая ориентация |
|
|
Вес (kg) |
VG･ISO-R/CF |
4.2/6 |
|
Контроллер |
TC64 |
|
1При использовании подпорного вакуумного насоса производительностью 100 л/мин.
Температура окружающей среды для использования. Диапазон температур окружающей среды, обеспечивающий достижение максимального давления, составляет 10-23 ℃. Допустимая температура окружающей среды составляет 10-32℃ для воздушного охлаждения и 10-40℃ для водяного. Максимальная температура охлаждающей воды, обеспечивающая предельное давление, составляет 30℃, а допустимый диапазон температур охлаждающей воды составляет 10-35℃.
Соответствующие газы. Некоторые рабочие газы могут испортить консистентную смазку и внутренние детали.
Контроллер
|
Параметр |
Значение |
|
Модель контроллера |
TC64 |
|
Входное напряжение (ACV) |
100-110 (±10%) / 200-230 (±10%) |
|
Входная частота (Hz) |
50/60 |
|
Входные фазы |
Single |
|
Входная мощность (VA) |
220 |
|
Номинальная выходная частота (Hz) |
800 |
|
Вес (kg) |
2.7 |
|
Стандартные принадлежности |
Входной разъем: 1 |
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
С момента своего основания в 1971 году компания OSAKA VACUUM зарекомендовала себя как лидер в области разработки и производства турбомолекулярных насосов (ТМН) в Японии. Она первой на рынке представила турбомолекулярные насосы, а в 1983 году разработала первый в мире ТМН со составным ротором, который стал новым стандартом в отрасли.
