Семинар «Физические проблемы технологии рентгеновской литографии»
ГК «Научное оборудование» выступила участником и партнёром конференции по теме будущего российской литографии, которая прошла в Новосибирском государственном университете в феврале.
В семинаре приняли участие ведущие научные и образовательные организации РФ, институты РАН, промышленные предприятия микроэлектронной отрасли и высокотехнологичный бизнес. В ходе мероприятия организаторы-участники выступили с ключевыми докладами, охватывающими химико-физические основы, материаловедческие аспекты, топологическое проектирование, источники синхротронного излучения (СИ) и метрологическое обеспечение литографических процессов. Анна Школдина, менеджер отдела вакуумного и криогенного оборудования представила доклад от ГК «Научное оборудование».
Результатами встречи стало предложение о создании альтернативного, технологически суверенного подхода к литографии для задач специальной микроэлектроники, радиофотоники, мембранных технологий, биотехнологий и элементной базы квантовых компьютеров. Проект включает в себя разработку и внедрение в РФ промышленно-применимой технологии рентгеновской литографии на синхротронном излучении с длиной волны 7Å, обеспечивающей создание элементной базы с топологическими нормами 2 нм и ниже. В планах также есть создание экспериментальной станции «ОРЕЛ-7» (Опытного Рентгеновского Литографа) на базе одной из экспериментальных станций Центра коллективного пользования «Сибирский кольцевой источник фотонов» (СКИФ),
Для реализации масштабного проекта потребуется сформировать объединённые рабочие группы и заявки на финансирование научных исследований по тематике рентгеновской литографии. Проект планируется осуществить при поддержке представителей РАН, РНФ, Миннауки РФ, Госкорпораций и промышленных предприятий.
