Насос вакуумный сухой Edwards iH600

Сухие насосы Edwards iH - это высоконадежный и недорогой насос для сложных технологических процессов, в которых присутствуют твердые частицы, конденсирующиеся или коррозионные побочные продукты. Серия iH оснащена пятиступенчатым базовым насосом с инновационным консольным ротором, когтями и корнями, что улучшает пылеулавливание и снижает шум выхлопных газов. Кроме того, насосы серии iH оснащены одноступенчатым механическим бустерным насосом и полностью закрытыми двигателями с водяным охлаждением.

Серия iH обеспечивает высокую надежность для сложных технологических процессов, таких как PECVD и LPCVD, где присутствуют твердые частицы, конденсирующиеся и коррозионные побочные продукты.

Варианты исполнения:

• iH600 460 В, 60 Гц 3Ø;
• iH600 200/208 В, 50/60 Гц 3Ø;
• iH600 380/415 В, 50 Гц 3Ø;
• iH600 230 В, 60 Гц 3Ø.

Технология

Система iH работает при давлении между атмосферным и предельным вакуумом без наличия смазочной или уплотняющей жидкости в насосной камере. Это обеспечивает чистоту насосной системы без обратной миграции масла в откачиваемую систему.

Система iH600 оснащена сухим насосом HCDP80 с механическим бустерным насосом HCMB600, установленным на входе насоса HCDP80. Насосы HCDP и HCMB оснащены закрытыми двигателями с водяным охлаждением. Поэтому система iH подходит для применения в чистых помещениях, где вентиляторное охлаждение двигателей недопустимо.

Система iH оснащена газовой системой, которая подает продувочный газ в насос HCDP. Эта газовая система подходит для использования в тяжелых условиях эксплуатации. Если вы используете систему iH на процессах малой или средней производительности, вы можете использовать экономичный газовый режим, чтобы уменьшить потребление продувочного азота насосной системой.

Вы можете вручную управлять системой iH с помощью терминала индикации насоса. Кроме того, вы можете использовать свой технологический инструмент или другое управляющее оборудование для управления работой системы iH через интерфейсный модуль или через дополнительный модуль обмена мгновенными сообщениями, или вы можете использовать аксессуар iH Single Equipment Monitor для управления работой системы iH.

Особенности и преимущеста:

• Оптимизированное потребление коммунальных услуг;
• Профилактическое обслуживание не требуется;
• Консольные валы и специально профилированные роторы для лучшей обработки частиц;
• Резервная мощность двигателя также обеспечивает максимальную надежность при работе в жестких условиях CVD;
• Коррозионностойкие материалы позволяют перекачивать агрессивные газы;
• Более высокие рабочие температуры обеспечивают достаточный запас для предотвращения конденсации газа;
• Цельный вал устраняет необходимость в муфте двигателя, а пятая ступень откачки устраняет необходимость в глушителе и устраняет накопление частиц, что снижает общую площадь занимаемой площади.

Применение:

• Блокировка нагрузки;
• Перекачка;
• Метрология;
• Литография;
• Процесс PVD;
• Предварительная очистка PVD;
• RTA;
• Промывка/промывка;
• Травление;
• Источник имплантации;
• HDP CVD;
• RTP;
• SACVD;
• MCVD;
• PECVD;
• LPCVD;
• ALD.