Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе высокой производительности серии TGkine-R.
Серия TGkine-R предлагает те же преимущества для пользователя, что и наша серия TGkine-B (бортовой тип), с непревзойденной производительностью для применения в широком диапазоне давлений. Кроме того, серия TGkine-R оснащена функцией памяти в корпусе насоса для хранения рабочих данных, количества касаний предохранительных подшипников и так далее. Все данные могут быть переданы, даже если контроллер заменен во время капитального ремонта.
Особенности
- Энергосберегающий дизайн. В корпусе насоса предусмотрена функция памяти для хранения рабочих данных, установочных параметров, истории неисправностей и т. д. Все данные могут быть переданы, даже если контроллер заменен во время капитального ремонта.
- Различные коммуникационные интерфейсы, совместимые с EtherCAT.
- Сертификат международного стандарта CE/NRTL/SEMI-S2.
Применение
- Производство полупроводников.
- Производство FPD.
- Производство солнечных элементов.
- Производство оптических деталей, таких как стекло/линза.
- Пленочное покрытие.
- Ускоритель/космический симулятор.
|
Параметр |
Значение |
|
|
Модель |
TGkine3300M-R |
|
|
Входной фланец |
VG300 |
|
|
Выходной фланец1 |
KF40/KF50 |
|
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
3300 |
|
N2 (с защитным экраном) |
3100 |
|
|
H2 |
2700 |
|
|
Макс. степень сжатия |
N2 |
>1×108 |
|
H2 |
3×103 |
|
|
Макс. пропускная способность2, 3 (sccm) |
N2 |
2600 |
|
Ar |
1900 |
|
|
Время запуска (min) |
≦11 |
|
|
Время отключения (min) |
≦13 |
|
|
Базовое давление4 |
(Pa) |
<2×10-7 |
|
(Torr) |
<1.5×10-9 |
|
|
Макс. давление в выходном отверстии5 |
(Pa) |
170 |
|
(Torr) |
1.28 |
|
|
Рекомендуемый подпорный вакуумный насос (l/min) |
≧2000 |
|
|
Ориентация при монтаже |
Любая |
|
|
Вес (kg) |
64/65 |
|
Примечания
1Технические характеристики могут варьироваться в зависимости от модели.
21 Па・Л/с (25℃) = 0,543 sccm (0 ℃, 1 atm).
3Значение, достигаемое при эффективном объемном расходе в выходном отверстии, равном 5000 л/мин.
4Давление достигается после 48 часов выпекания.
5Давление обеспечивает непрерывную работу в газе N2 без повреждения насоса.
Контроллер
| Параметр | Значение |
|
Модель |
TC0331M |
|
Входное напряжение (ACV) |
200～240 -15~+10% |
|
Входные фазы |
Single |
|
Входная частота (Hz) |
50/60 |
|
Макс. требуемая мощность (kVA) |
0.9 |
|
Вес (kg) |
8 |
|
Коммуникационный интерфейс (выбирается) |
Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet, EtherCAT |
|
Стандартные принадлежности |
Входной кабель (5 м): 1 |
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
