Мембранный датчик емкости INFICON Edge - это высокоточный прибор для измерения вакуума, предназначенный для суровых производственных условий. Проверенный терморегулируемый, устойчивый к коррозии, сверхчистый керамический датчик обеспечивает превосходную стабильность пролета в течение многих лет в сочетании с современной нулевой стабильностью. Edge поставляется с запатентованным INFICON уникальным сенсорным экраном, который защищает датчик от нежелательных побочных продуктов процесса. Усовершенствованная электроника предлагает широкий спектр настраиваемых параметров формирования сигнала для всех приложений и дополнительный интерфейс полевой шины EtherCAT. Инновационная концепция нагрева обеспечивает охлаждение сенсорной поверхности и экономит ценное пространство для инструментов. INFICON Edge - это самый маленький вакуумный измерительный прибор в своем роде.
Преимущества:
- Компактный, экономит ценное пространство для инструментов;
- Простая интеграция, EtherCAT, широкий выбор полноразмерных шкал и фланцев, стандартно с двумя уставками;
- Простая команда обнуления одним нажатием кнопки или удаленным сигналом, регулируемое смещение нуля;
- Диагностический порт для быстрого обслуживания и обслуживания;
- Двухлетняя гарантия, более длительный срок службы благодаря усовершенствованной концепции нагрева и защите датчика;
- Отсутствие длительной повторной калибровки благодаря превосходной стабильности и повторяемости сигнала даже в жестких условиях плазменной обработки;
- Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, SEMI, RoHS.
Области применения:
- CVD, Травление, PVD и другие процессы производства полупроводников.
| Параметр | Единица измерения | Значение | |
|
Тип |
1000 ... 500 Торр/мбар |
200 ... 1 Торр/мбар |
|
|
Точность (1) |
% от прочитанного |
0.15 |
0.15 |
|
Температурный эффект |
|||
|
На нуле |
процент FS/°C |
0.0025 |
0.0025 |
|
На промежутке |
% от показаний/°C |
0.02 |
0.02 |
|
Давление, макс. |
кПа (абсолютное значение) |
400 |
260 |
|
Разрешение |
процент FS |
0.003 |
0.003 |
|
Самый низкий показатель |
процент FS |
0.01 |
0.01 |
|
Наименьшее рекомендуемое значение |
процент FS |
0.05 |
0.05 |
|
Наименьшее рекомендуемое контрольное давление |
процент FS |
0.5 |
0.5 |
|
Температура |
|||
|
Датчик |
°C |
100 |
|
|
Работа (окружающая среда) (4) |
°C |
+10 … +50 |
|
|
Выпечка на фланце |
°C |
≤110 |
|
|
Хранение |
°C |
–40 … +65 |
|
|
Напряжение питания |
+14 ... +30 В постоянного тока или ±15 В (±5%) |
||
|
Потребляемая мощность |
|||
|
Во время нагрева |
Вт |
≤20 |
|
|
При рабочей температуре |
Вт |
≤14 |
|
|
Выходной сигнал (аналоговый) |
В (постоянный ток) |
0 … +10 |
|
|
Время отклика (2) |
мс |
30 |
|
|
Степень защиты |
IP 40 |
||
|
Стандарты |
|||
|
Соответствие CE |
|
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS |
|
|
Сертификация ETL |
|
UL 61010-1, CSA 22.2 №61010‑1 |
|
|
Соответствие требованиям SEMI |
|
SEMI S2 |
- |
|
Электрическое подключение |
D-sub, 15-полюсный, штекер |
||
|
Заданное значение |
|||
|
Количество уставок |
|
2 (SP1, SP2) |
|
|
Контакт реле |
В (постоянный ток) |
≤30 |
|
|
Гистерезис |
процент FS |
1 |
|
|
Диагностический порт |
|||
|
Протокол |
|
RS232-C |
|
|
Читать |
|
давление, статус, идентификатор |
|
|
Установить |
|
уставки, фильтр, настройка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока |
|
|
Материалы, подвергнутые воздействию вакуума |
Керамика из оксида алюминия (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L (3)) |
||
|
Внутренний объем |
|||
|
I. объем 1/2 "туба |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
|
|
I. объем DN 16 ISO KF |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
|
|
I. объем DN 16 CF-R |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
|
|
I. объем 8 VCR® |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
|
|
Вес |
|||
|
Трубка 1/2" |
г |
837 |
|
|
DN 16 ISO KF |
г |
852 |
|
|
DN 16 CF-R |
г |
875 |
|
|
8 VCR® female |
г |
897 |
|
|
EtherCAT |
|||
|
Протокол EtherCAT |
|
протокол, специализированный для EtherCAT |
|
|
Стандарты связи |
|
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Общий профиль устройства ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Конкретный профиль устройства: Вакуумметр |
|
|
Скорость передачи данных |
Кбит/с |
100000 |
|
|
Адрес узла |
|
Явная идентификация устройства |
|
|
Физический уровень |
|
100BASE-Tx (IEEE 802.3) |
|
|
Цифровые функции считывания |
|
давление, статус, идентификатор |
|
|
Набор цифровых функций |
|
уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока |
|
|
Обрабатывать данные |
|
Исправлено отображение PDO и настраиваемое отображение PDO |
|
|
Почтовый ящик (CoE) |
|
Запросы, ответы и информация SDO |
|
|
Разъем EtherCAT |
|
2 x RJ45, 8-контактный разъем (разъем), вход и выход |
|
|
Кабель |
|
экранированный Ethernet CAT5e или выше |
|
|
Длина кабеля |
м (фут) |
≤100 (330) |
|
| Разъем для CDG (аналоговый выход, напряжение питания, уставки) | D-sub, 15-контактный, штекер | ||
(1) Нелинейность, гистерезис, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25 ° C без температурных эффектов после 2 часов работы.
(2) Увеличить на 10 ... 90 процентов FS.
(3) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe.
(4) Температура окружающей среды > 40 ° C может привести к повышению температуры поверхности выше уровня соответствия SEMI S2.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос