Одноместный ионный вакуумметр INFICON Bayard-Alpert BAG302 охватывает широкий диапазон измерений от 1,3 × 10-9 до 6,7×10-2 мбар (от 1 × 10-9 до 5 × 10-2 Торр). Компактный универсальный датчик горячих ионов BAG302 оснащен простым в замене датчиком с двумя нитями накала, встроенным OLED-дисплеем, реле уставки и логарифмически линейным аналоговым выходом, а также встроенным цифровым интерфейсом RS485 для повышения гибкости интеграции. Эти характеристики в сочетании с прочной конструкцией делают BAG302 доступным и воспроизводимым процессом для собственного базового прибора для измерения давления и обеспечивают высокую стоимость / низкую стоимость владения.
Преимущества:
- Широкий диапазон измерений от 1,3 × 10-9 до 6,7×10-2 мбар (от 1 × 10-9 до 5 × 10-2 Торр);
- Две стандартные иридиевые нити с длительным сроком службы, покрытые оксидом иттрия;
- Универсальный активный датчик со встроенным дисплеем, уставкой, аналоговым выходом и стандартным встроенным цифровым интерфейсом RS485;
- Яркий цифровой OLED-дисплей с клавиатурой для простой настройки, управления и программирования;
- Программируемое Пользователем реле уставки;
- Программируемые пользователем блоки отображения в мбар, Торр или Па;
- Выбираемый пользователем автоматический диапазон тока излучения;
- Механическая прочность и прочность;
- Выбор различных вариантов фланцев;
- Легко заменяемый чувствительный элемент;
- Соответствие и стандарты: CE, RoHS;
- Прямое подключение заменяет модуль Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® – идентичные функции управления, включая команды программного обеспечения (RS485).
Granville-Phillips® и Micro-Ion® являются зарегистрированными торговыми марками MKS Instruments, Андовер, Массачусетс.
Области применения:
- Измерение давления в полупроводниковых технологических и передаточных камерах;
- Промышленное покрытие;
- Общее измерение и контроль вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума.
|
Параметр |
Единица измерения |
Значение |
|
Модель |
BAG302 |
|
|
Диапазон измерения |
мбар |
1,3 x 10-9 ... 6,7 x 10-2 |
|
Точность (N2) |
||
|
1,3 ×10-8 ... 6,7 ×10-2 мбар |
% показаний |
±15 |
|
1 ×10-8 ... 5×10-2 Торр |
% показаний |
±15 |
|
Повторяемость |
% показаний |
±5 |
|
Дегазация |
||
|
p < 6,7 x 10-5 |
мбар |
электронная бомбардировка, 2 мин (по умолчанию) |
|
p < 5,00 x 10-5 |
Торр |
(программируется между 2... 10 мин) |
|
Температура |
||
|
Эксплуатация (окружающая среда) |
°C |
0 ... +40 |
|
Хранение |
°C |
-40 ... +70 |
|
Запекание на фланце (только датчик, электрика снята) |
°C |
200 |
| Общие характеристики | ||
|
Напряжение питания |
В (постоянный ток) |
+20 ... +28 |
|
Аналоговый выходной сигнал |
В |
0 ... +9 (логарифмически-линейный) |
|
Зависимость напряжения от давления |
вольт за десятилетие |
1 |
|
Реле уставки |
1 (однополюсное реле двойного действия (SPDT)) |
|
|
Электрическое подключение |
D-Sub, 9-контактный, разъем для аналогового, D-Sub, 9-контактный, разъем для RS485 |
|
|
Интерфейс (цифровой) |
RS485 |
|
|
Контроль выбросов |
руководство пользователя |
|
|
Нить накаливания |
два Ir с покрытием Yt2O2 |
|
|
Состояние нити накала |
дисплей/цифровой выход |
|
|
Цифровые функции |
дегазация, включение/выключение нити накала и контроль выбросов |
|
|
Материалы, подвергшиеся воздействию вакуума |
Yt2O3, Ir, W, Ta, нержавеющая сталь, стекло, Ni |
|
|
Ориентация установки |
любая |
|
|
Внутренний объем |
см3 (дюйм3) |
16.4 (1.0) |
|
Вес, кг/ куб. |
г |
270 |
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос