Одиночный ионный датчик INFICON Bayard-Alpert Hot Ion Gauge BAG402 охватывает широкий диапазон измерений от 5×10-10 мбар до 2,7×10-2 мбар (от 3,75×10-10 Торр до 5×10-2 Торр). Выберите INFICON BAG402 для недорогого и воспроизводимого процесса измерения базового давления в компактном корпусе с активным датчиком. Уникальные двойные нити с поддержкой обеспечивают превосходную точность, долговечность и долговечность.
Преимущества:
- Диапазон измерений от 5×10-10 мбар до 2,7×10-2 мбар (от 3,75×10-10 Торр до 5×10-2 Торр);
- Превосходная повторяемость в диапазоне технологических давлений от 10-8 ... 10-2 мбар до 5%;
- Обнаружение избыточного давления защищает нить накала от преждевременного перегорания;
- Две иридиевые нити с длительным сроком службы, покрытые оксидом иттрия;
- Автоматический выбор тока излучения снижает сложность управления;
- Простая замена чувствительного элемента с бортовыми данными калибровки гарантирует высокую воспроизводимость;
- Соответствие требованиям RoHS.
Granville-Phillips® и Mini-Convectron® являются зарегистрированными товарными знаками компании MKS Instruments, Андовер, Массачусетс.
Области применения:
- Измерение давления в полупроводниковых технологических и передаточных камерах;
- Промышленное покрытие;
- Общее измерение и контроль вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума.
|
Параметр |
Единица измерения |
Значение |
|
Модель |
BAG402 |
|
|
Диапазон измерений (воздух, O2, CO, N2) |
|
5×10-10 … 2.7×10-2 |
|
Точность |
||
|
10-8 ... 10-2 мбар |
% от прочитанного |
±15 |
|
Повторяемость |
||
|
10-8 ... 10-2 мбар |
% от прочитанного |
5 |
|
Дега (1) |
||
|
p < 7,2 × 10-6 |
мбар |
электронная бомбардировка, макс. 3 мин |
|
Давление, макс. |
бар (абсолютный) |
2 |
|
Температура |
||
|
Работа (окружающая среда) |
°C |
0 … +50 |
|
Хранение |
°C |
-20 … +70 |
|
Запекание на фланце без электроники BPG402-S |
°C |
80 |
| Напряжение | ||
|
Напряжение питания |
В (постоянный ток) А (постоянный ток) |
+20 … +28 |
|
Аналоговый выходной сигнал |
||
|
Выходной сигнал |
В |
0 … +10 |
|
Диапазон измерений log / lin |
В |
0 … +9 |
|
Зависимость напряжения от давления |
вольт за десятилетие |
1 |
|
Сигнал ошибки |
В |
> +10 |
|
Сопротивление нагрузки, мин. |
kΩ |
10 |
|
Вторичный аналоговый выход |
Вторичный аналоговый выход |
Нет |
|
Реле уставки |
||
|
Количество уставок |
|
Нет |
| Общие характиристики | ||
|
Цифровые функции |
дегазация и эмиссия |
|
|
Интерфейс (цифровой) (2) |
Диагностический порт |
|
|
Контроль выбросов |
руководство |
|
|
Нить накаливания |
два оксида иттрия (Y2O3) с покрытием из иридия (Ir) |
|
|
Состояние нити накала / реле |
Светодиод / реле |
|
|
Электрическое подключение |
D-Sub, 9-контактный разъем, мужской |
|
|
Длина кабеля, макс. |
м (фут) |
100 (330) |
|
Материалы, подвергнутые воздействию вакуума |
Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, нержавеющая сталь, стекло |
|
|
Внутренний объем KF / CF |
см3 (дюйм3) |
24 (1.46) / 34 (2.1) |
|
Вес KF / CF |
г |
450 / 710 |
|
Степень защиты |
IP30 |
|
1) Пониженная точность при дегазации.
2) Одновременное использование контроллеров серии RS232C или VGC40x и полевой шины не допускается.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос