INFICON Transpector CPM уже более десяти лет является ведущей на рынке системой мониторинга процесса анализа остаточных газов (RGA) в полупроводниковой промышленности. Теперь Transpector CPM 3 обеспечивает лучшую в отрасли скорость и чувствительность измерений благодаря проверенной в полевых условиях системе подачи и подачи, интегрированной с новым датчиком и электроникой. Transpector CPM 3 - идеальный RGA-монитор для новых и уже зарекомендовавших себя полупроводниковых процессов, таких как ALD, CVD, PVD и Etch.
Преимущества
- Анализатор остаточных газов для ALD, травления, CVD и дегазации 300 мм — обеспечивает мониторинг и анализ процесса в режиме реального времени.
- ALD-готовность со скоростью измерения 1,8 мс на точку (555 точек в секунду).
- Проверенная в полевых условиях долговечность и надежность в самых сложных системах CVD и травления.
- Интеграция приложений — Transpector CPM становится мощным инструментом мониторинга и диагностики процессов, когда интегрируется с программным обеспечением FabGuard и поддерживается экспертами INFICON в области приложений мирового класса.
- Компактный размер — позволяет легко интегрировать в производственное полупроводниковое оборудование.
- Hexblock ™ с тремя входами давления и уменьшенной площадью поверхности для минимизации поверхностных реакций и времени отклика.
- Емкостный мембранный датчик (CDG) —CDG позволяет пользователю контролировать давление процесса и автоматически защищать систему от перепадов давления.
- Автоматическая калибровка — обеспечивает долговременную стабильность и точность данных для сопоставления датчика с датчиком и инструмента с камерой инструмента.
| Параметр | Значение |
|
Модель |
100 AMU CPM |
|
Разрешение |
ширина 1 аму при максимальной высоте 10% |
|
Диапазон общего давления1 |
5E-7 - 1E-3 Торр |
|
Точность полного давления2 |
+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Торр |
|
Максимальное рабочее давление3 источника ионов |
1E-3 Торр |
|
Номинальное рабочее давление4 |
2E-4 Торр |
|
Рабочее давление системы |
1E-8 Торр - 1,2 атм |
|
Чувствительность (низкое излучение) |
> 4E-6 Amps/Торр |
|
Чувствительность (высокая эмиссия) |
> 2E-5 Amps/Торр |
|
Минимальное обнаруживаемое частичное давление5 |
1E-13 Торр |
|
Максимальная скорость передачи данных |
1,8 мс/точка (555 точек/сек) |
|
Чувствительность к изобилию6 |
< 5 промилле |
|
Нулевой взрыв7 |
< 2 промилле |
|
Предел обнаружения8 |
< 1 промилле |
|
Линейность9 |
+/- 20% |
|
Минимальное фоновое давление |
1E-8 Торр |
|
Максимальная температура датчика и на входе |
150 °C |
1 Показания давления источника ионов при низком уровне выбросов с помощью объектива полного давления.
2 Точность полного давления при низком уровне выбросов.
3 Максимальное рабочее давление источника ионов при низком уровне выбросов.
4 2x10-4 Торр в источнике ионов будут производить около 1x10-5 Торр в квадрупольной области.
5 МКПП на источнике ионов при включенном электромагнитном излучении и времени выдержки 1 сек.
6 Вклад массы 40 в 41 AMU.
7 Нулевой вклад взрыва в 2 AMU.
8 Минимальная обнаруживаемая концентрация криптона в воздухе при времени выдержки 1 сек.
9 Для отверстий диаметром 1 Торр или ниже. Линейность при низком уровне выбросов при давлении на входе, в 0,1-2 раза превышающем номинальное.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос