Насосы серии SDE производительностью от 1300 до 30000 л/мин используются в тех приложениях, где необходима откачка коррозионных газов. Насосы этой серии основаны на комбинации вертикального винтового и многоступенчатого насоса Рутса. Винтовой компрессор имеет два винтовых ротора.
Один ротор имеет правую резьбу, а другой — левую. Оба ротора вращаются внутри корпуса без трения с минимальным прецизионным зазором, не требующим смазки. Вертикальный дизайн насосов Kashiyama обеспечивает лучшее вакуумное уплотнение. Для обеспечения надежной откачки коррозионных газов ротор и корпус насоса выполнены из сплава никеля.
Насосы серии SDE прошли успешное испытание в «тяжелых» условиях процесса химического осаждения паров нитрида титана (CVD, Ti Nitride) на установке «Centura» производства компании Applied Materials (США). Срок работы насосов других известных производителей ограничивался 1-2 месяцами.
В результате, они были заменены насосами серии SDE, которые работают в этой установке непрерывно уже 9000 часов по настоящее время.
Основные преимущества насосов этой серии :
- надежность в реальных условиях эксплуатации;
- полное отсутствие загрязнений откачиваемого объема;
- коррозионная стойкость
- модели с пониженной внутренней температурой до 150С для W-СVD и др. процессов, чтобы избежать прилипания остаточных продуктов процесса на рабочих поверхностях;
- двигатель постоянного тока, вследствие чего производительность насоса не зависит от изменения частоты питающего напряжения.
| Параметр | Значение |
| Быстрота действия, л/мин | 1 300 |
| Предельное давление, Па (мТорр) | 1,3 (10) |
| Входной r фланец | NW40 |
| Выпускной фланец | NW40 |
| Мощность блока питания, кВА | 6,5 |
| Потребляемая мощность, кВт | 1,3 |
| Минимальный расход охлаждающей воды (5 – 25 С) | 3,0 |
| Расход азота, ст. л/мин | 0-60 |
| Разъем для охлаждающей воды | 3/8″ быстроразъемная муфта |
| Соединение для азота | 1/4″ резьбовое |
| Габаритные размеры ДхШхВ, мм | 690*370*551 |
| Масса, кг | 150 |
* Литера “X” в номере модели насоса означает, что данный насос является энергосберегающим.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос