Зондовая станция M1 — это первая в мире цифровая зондовая станция массового производства, разработанная компанией Eoulu. Она предназначена для высокоточных измерений и тестирования полупроводниковых пластин в реальном времени, обеспечивая надежные и воспроизводимые измерения, соответствующие самым строгим стандартам точности в микроэлектронике.
Зондовая станция M1 — это идеальное решение для:
✔ Полупроводниковых производств — автоматизированное тестирование пластин в производственных процессах.
✔ Исследовательских лабораторий — передовые технологии для научных исследований и новых разработок.
✔ Тестовых центров — анализ характеристик микросхем и чипов с высокой точностью.

Главной особенностью Зондовой станции M1 является уникальное сочетание точности, автоматизации и защиты от электромагнитных помех, что делает её лучшим решением для тестирования современных полупроводниковых устройств.

Ключевые особенности и преимущества

1. Инновационная цифровая технология
• Позволяет наблюдать за процессом тестирования в реальном времени.
• Минимальное ручное вмешательство, что устраняет человеческий фактор и повышает точность измерений.
• Система динамического и статического картирования позволяет быстро и точно анализировать пластины.

2. Высокоточная механика и автоматизация
• Держатель пластин обеспечивает перемещение с микронной точностью.
• Высокая скорость позиционирования:
• X/Y: до 150 мм/с.
• Z: до 35 мм/с.
• Автоматическое определение следов зондирования и позиционирование зондов без необходимости вмешательства оператора.

3. Полная электромагнитная защита
• Интегрированная клетка Фарадея (Faraday Cage) для защиты от внешних электромагнитных помех.
• Защита от внешнего освещения ≥ 20 дБ (0,5−20 ГГц).
• Экранирование света: ослабление ≥ 150 дБ (200−2000 нм).
• Минимальный уровень шума: ≤ -150 дБВсркв (≤ 1 МГц).

4. Оптическая система нового поколения
• Два встроенных высокоточных микроскопа для анализа пластин:
• Основной микроскоп: 3 CCD/CMOS камеры, разрешение < 2 мкм.
• Боковой микроскоп: 1 CCD/CMOS камера, разрешение < 2 мкм.
• Оптическое разрешение: физическое — 11 мкм, улучшенное — до 5,5 мкм.
• Стандартное увеличение: 500−2000X.
• Автоматическая фокусировка и обработка изображений с использованием запатентованных алгоритмов Eoulu.

5. Широкий диапазон рабочих температур
• Поддержка тестирования при экстремальных температурах от -60°C до 300 °C.
• Два вида охлаждения:
-Жидкостное охлаждение (Liquid cool);
-Воздушное охлаждение (Air cool).
• Высокая скорость изменения температуры:
-60°C → 25 °C за 9 мин;
-25 °C → 300 °C за 25 мин.

6. Виброизоляция
• Собственная частота (вертикальная): 2,5−2,7 Гц.
• Собственная частота (горизонтальная): 2,0−4,5 Гц.
• Демпфирование (регулируемое): 6% - 20%.
• Максимальная нагрузка: 1600 кг.

7. Полная интеграция с ведущими измерительными системами
• Поддержка futureC и futureD для интеллектуального управления.
• Автоматическая калибровка и обработка данных.
• Полная совместимость с ведущими анализаторами и тестовыми платформами.

Интеграция загрузчика пластин Eoulu ROA-001 со станцией M1

Загрузчик пластин Eoulu ROA-001 полностью совместим с зондовой станцией M1, обеспечивая автоматизированную подачу и точное позиционирование.

Как работает интеграция?

1. Автоматическая загрузка — загрузчик берет пластину из кассеты и перемещает её в рабочую зону станции M1.
2. Точное выравнивание — благодаря интеллектуальной системе позиционирования пластина размещается с высокой точностью, снижая погрешность тестирования.
3. Синхронизация с ПО — управление загрузчиком интегрировано с программным обеспечением futureE, что позволяет контролировать процесс загрузки и тестирования в единой системе.
4. Бережное воздействие — минимизируется механическое воздействие на пластину, что снижает риск повреждений.
5. Автоматическое извлечение — после завершения тестирования загрузчик аккуратно извлекает пластину и размещает её обратно в кассету.