Eoulu F1 — это универсальная платформа с программно-определяемой архитектурой, созданная для высокоточных измерений полупроводниковых пластин с минимальным участием оператора. Она представляет собой самую компактную и легкую зондовую станцию для 8- и 12-дюймовых пластин, обеспечивающую высокую скорость тестирования, точность измерений и интеллектуальное управление.

Универсальность платформы F1 заключается в простой настройке под конкретные задачи, включая измерения DC, СВЧ (RF), Load Pull, а также автоматизированные измерения в области кремниевой фотоники (SiPh). Платформа может быть дополнена термосистемой для испытаний в диапазоне температур от -60°C до +300°C. В ней интегрированы уникальные технологии Eoulu: «Zero Error (C0)», «Virtual Ruler (VR)» и динамическое/статическое отображение карты кристаллов.

Станция доступна в полуавтоматическом и полностью автоматическом исполнении и управляется через системы futureC (интеграция оборудования) и futureD (мониторинг данных). Это позволяет адаптировать её для выполнения различных задач, от лабораторных исследований до массового производства полупроводниковых компонентов.

Основные характеристики и преимущества:

• Компактность и легкость: Это самая компактная и легкая 12-дюймовая зондовая станция в мире, с шириной всего 1 метр и весом основного корпуса 500 кг, что делает её идеальной для использования в чистых помещениях.

• Запатентованные технологии Eoulu: Использует инновационные технологии "C0 (Zero Error)" и "Virtual Ruler (VR)" для зондирования неровных подложек.

• Высокая скорость картографирования: Среднее время создания карты составляет менее 1 секунды, с минимальным временем в 500 миллисекунд.

• Широкий диапазон температур: Работает в условиях от -60°C до +300°C благодаря воздушному и жидкостному охлаждению.

• Высокая точность механики: Достигает точности перемещения X/Y ≤ 0.05 µm и Z ≤ 1 µm.

• Эффективное экранирование: Обеспечивает защиту от внешних помех: свет ≥ 150 дБ; EMI ≥ 20 дБ.

• Поддержка Edge Die: Позволяет точно зондировать структуры по краям пластины.

• Интеграция с MES: Совместима с системами исполнения производственных процессов и обеспечивает полную трассируемость данных.

Микроскоп

• Диапазон перемещения: X: 50 мм, Y: 50 мм, Z: 90 мм.
• Точность позиционирования: ± 2 мкм.
• Скорость перемещения: X/Y: 60 мм/с, Z: 120 мм/с.
• Оптическое разрешение: ≤ 1.5 мкм.
• Стандартное увеличение: 225X.

Термоконтроль и охлаждение

• Температурный диапазон: -60°C до 300 °C.
• Максимальная мощность нагрева: 5,5 кВт.
• Максимальная мощность охлаждения: 12,5 кВт.
• Типы системы охлаждения: жидкостное или воздушное.
• Точность установки температуры: ± 1 °C.

Столик (Chuck)

• Диаметры подложек: 8" / 12"
• Температура: от -60°C до +300°C
• Утечка: ≤ 231 фА; Шум: ≤ 42 фА
• Мощность нагрева: 5.5 кВт; охлаждения: 12.5 кВт
• Переход от -60°C до 25°C: 9 мин

Экранирование и виброизоляция

• Экранирование света: ≥ 150 дБ
• EMI: 0.5–20 ГГц, ≥ 20 дБ
• Виброизоляция: Вертикально 2.5–2.7 Гц,
• Горизонтально 2.0–4.5 Гц
• Эффективность изоляции: 5–6%; класс VC-C

Перемещение и точность

• Диапазон X/Y: 301 мм; Тета: ±5°
• Скорость: до 150 мм/с
• Точность позиционирования: X/Y: ≤ 0.05 µm; Z: ≤ 1 µm
  

Интеллектуальное программное обеспечение и автоматизация:

Зондовая станция F1 Probe поддерживает интеллектуальную автоматизацию с помощью следующих программных решений:
• Future C — автоматизация тестирования и интеграция с измерительными приборами.
• Future D — обработка данных и мониторинг процессов.
• Future E — программное обеспечение для управления ресурсами.


Варианты исполнения: ручная, полуавтоматическая и автоматическая зондовая станция

1. Ручная зондовая станция (Manual F1 Probe Station)
   – Полностью ручное управление: оператор самостоятельно перемещает пластины и зонды.
   – Необходима высокая квалификация для точного позиционирования.
   – Идеально подходит для лабораторий и опытного производства.
   – Преимущества: низкая стоимость, гибкость в настройках.
   – Ограничения: влияние человеческого фактора, низкая скорость тестирования.

2. Полуавтоматическая зондовая станция (Semi-Automated F1 Probe Station)
   – Частично автоматизированное управление: автоматическое перемещение зондов и пластин по осям X/Y/Z.
   – Поддержка автоматической калибровки и позиционирования.
   – Интеграция с измерительными приборами через Future C и Future D.
   – Преимущества: высокая точность, сокращение времени тестирования.
   – Ограничения: требуется участие оператора, средняя производительность.

3. Автоматическая зондовая станция (Fully-Automatic F1 Probe Station)
   – Полностью автоматизированное тестирование с минимальным участием оператора.
   – Автоматическая калибровка, управление тестовыми сценариями, сбор и анализ данных. Обеспечивает высокую скорость тестирования и максимальную точность измерений.
   – Преимущества: высокая производительность, исключение человеческого фактора, минимальные ошибки.
   – Ограничения: высокая стоимость, необходимы специалисты для обслуживания.