Универсальный газоанализатор Stanford Research Systems UGA200

Устройства UGA также просты в управлении и обслуживании. Всеми компонентами можно управлять как с передней панели, так и с удаленного компьютера. Пользователь может непосредственно управлять всеми насосами, клапанами и нагревателями с передней панели. Удобный дисплей позволяет осуществлять действия с помощью меню. Емкостный манометр, манометр Пирани и ионизационный манометр непрерывно контролируют статус устройства, и эти данные показываются на передней панели. Разнообразие средств измерений позволяет устройству автоматизировать процедура понижения давления и осуществлять взаимную блокировку для автоматической отказоустойчивой работы. Устройство UGA управляется с помощью встроенного микропроцессора. Этот центральный процессор управляет потоком данных между вспомогательным процессором, блоком управления ионизационным манометром, драйвером турбомолекулярного насоса и анализатором остаточных газов к себе, а также на ПК.

Камера анализатора остаточных газов представляет собой патрубок с шестью отводами и соединяющими фланцами на 2-3/4 дюйма. Одно отверстие предназначено для использования встроенной системы капиллярного понижения давления к пробам, взятым при атмосферном давлении. Эта возможность позволяет использовать UGA как датчик утечки гелия либо для других задач обнаружения утечки газа. Два дополнительных отверстия применяются для прямого соединения с различными вакуумными зонами (от 0.1 Torr до 10-7 Torr) с помощью соответствующих коннекторов. Для отбора проб газа в интервале от 10­1 до 10­4 Torr может быть разработан низковакуумный впускной узел с использованием трубки соответствующего размера (внешний диаметр от 0.125 до 0.5 дюйма) и клапана. Этот узел может быть присоединен к отверстию с 2.75-дюймовым фланцем стандарта CF. Правильный выбор размера трубки необходим для обеспечения достаточно низкого рабочего давления в масс-спектрометре. Для высоковакуумного применения (меньше чем 10-4 Torr), трубка с внешним диаметром 1.5 дюйма может быть непосредственно подсоединена к отверстию с 2.75-дюймовым фланцем стандарта CF.

Устройство может быть дополнено составным капиллярным впускным клапаном, что позволяет пользователю контролировать до 16 различных капилляров в различных местоположениях в их системе. Некоторые камеры для сверхвысокого вакуума и чистоты не приспособлены для продувания их атмосферным воздухом по причине присутствия в нем водяного пара. Дополнительный клапан позволяет проводить продувку сухим азотом или другими газами. Вся система находится под управлением микропроцессора, что гарантирует идеальную работу всех насосов и клапанов. Два (встроенных) нагревателя окружают камеру и соединение с турбомолекулярным насосом. Операции по обезгаживанию прогревом до 120 °C могут быть выполнены легко и безопасно—все нагреватели контролируются микропроцессором. Могут быть предусмотрены дополнительные нагреватели для подогрева капилляра и линии подачи проб газа до 80 °C. Программное обеспечение Windows управляет универсальным газоанализатором и анализатором остаточных газов, графически выводит на экран данные и обеспечивает их анализ.