Откачные посты 34

Параметр

Значение

Скорость утечки вакуумной системы

≤ 1 × 10^-9 Па · м³ / с

Напряжение питания

380 В ± 10/50 Гц

Режим охлаждения

воздушное или водяное охлаждение

Температура окружающей среды для использования оборудования

5-40 ℃

Влажность окружающей среды при использовании оборудования

≤ 80%

Фланец (In)

DN150 CF, DN150 ISO-K

Фланец (Out)

ISO-KF, DN40

Скорость откачки, л / с

N₂: 700
Он: 580
H₂: 260
Ar: 680

Степень сжатия

N₂: 10⁹
Он: 10⁷
H₂: 10⁶
Ar: 10⁹

Максимальное давление

CF: 5 × 10^-5 Па

Рекомендуемое форвакуумное давление

100 Па

Форвакуумный насос

РВ-6 (по умолчанию)

Тип охлаждения

Воздух или вода

Расход охлаждающей воды

> 1 л / мин

Температура охлаждающей воды

≤25 ℃

Входное напряжение / частота

380 ± 20/50 В / Гц

Температура окружающей среды

Водяное охлаждение 5 ℃ -40 ℃
Воздушное охлаждение 5 ℃ -32 ℃

Монтажное положение

Вертикальное

Модель контроллера

TCDP-Ⅱ

Габариты (Д*Ш*В)

550 × 690 × 850 (вода)

Вес

135 кг

Наименование

Количество

Молекулярный насос и блок питания F-160/700

1 шт.

Насос механический РВ-6

1 шт.

Рамка

1 шт.

Блок питания управления

1 шт.

Комбинированный вакуумметр ZDF-11B5

1 шт.

Параметр

Значение

Скорость утечки вакуумной системы

≤ 1 × 10^-9 Па · м³ / с

Напряжение питания

380 В ± 10/50 Гц

Режим охлаждения

воздушное или водяное охлаждение

Температура окружающей среды для использования оборудования

5-40 ℃

Влажность окружающей среды при использовании оборудования

≤ 80%

Фланец (In)

DN150 CF, DN150