Автоматизированная зондовая станция для пластин размером до 200 мм. Для проведения серийных испытаний на высокой частоте
Основные возможности
- Измерения на высокой частоте до 67 ГГц и 4-портовая топология.
- Одновременные измерения на постоянном токе DC-IV / постоянном токе и постоянном напряжении / Pulsed-IV.
- Обеспечиваемая надежность - 24/7.
- Простая фронтальная загрузка одной пластины.
- Большой зондовый стол с максимум 4х ВЧ микопозиционерами или стандартным 4.5” держателем проб-карт.
- Двойная рука робота и встроенное приспособление для предварительного совмещения для обеспечения высокой степени производительности.
- Обеспечиваются различные функции держателей и большой выбор оснастки.
- Стандартная камера для внеосевого совмещения полупроводниковой пластины.
- Дополнительная камера держателя для верхнего обзора при совмещении зонда и платформы.
- Специальная функция для работы с тонкими полупроводниковыми пластинами.
Обработка тонких полупроводниковых пластин
Уникальная конструкция держателей и штифтов подъема пластины станции TS2500-RF обеспечивает безопасную работу с пластинами толщиной до 50 мкм позволяя, таким образом, выполнять тестирование тонких сложных пластин AIII-BV пластин.
RF-держатели включают два дополнительных держателя, выполненных полностью из специального керамического материала для точной RF калибровки. Дополнительные держатели также могут использоваться для размещения пластины для чистки щупов зондовых головок. Также доступны термодержатели S.
Высокая производительность
Автоматическая работа заключается в использовании двойных рук роботов, соединенных с двойными кассетными держателями полупроводниковых пластин, имеющих размер 150 или 200 мм, обеспечивая, таким образом, высокую эффективность замены полупроводниковых пластин и высокую скорость выполнения измерений. Станция TS2500-RF может достигать максимальной скорости тестирования 10 кристаллов/секунду (в зависимости от окончательной конфигурации станции), которая и делает ее прекрасным выбором для производственных электрических измерений как дискретных RF устройств, так и интегральных схем (IC).
Предварительное совмещение
Функции предварительного выравнивания, такие как внеосевое совмещение и установленные над держателем пластин видеокамеры делают зондовую станцию TS2500-RF идеальной платформой для проведения RF-измерений сложных конфигураций.
Держатель по оси XY (программируемый)
| Длина хода | 298 мм x 350 мм (11.7 x 13.7 дюймов) |
| Разрешение | 0.1 мкм |
| Точность | ± 4.0 мкм |
| Повторяемость | ± 2.0 мкм |
Держатель по оси Z (программируемый)
| Длина хода | 16 мм (0.6 дюймов) |
| Разрешение | 0.2 мкм |
| Повторяемость | ± 1.0 мкм |
Держатель по углу (программируемый)
| Длина хода | ± 5.0° |
| Разрешение | 0.00125° |
| Точность | 3.0 мкм (измеряется на кромке держателя пластин размером до 200 мм |
Требования к оборудованию
| Напряжение | 110/120/200/230 V AC 50/60 Hz |
| Вакуум | < -0.7 бар при 10LPM |
| Сжатый воздух | 4.0 – 6.0 бар при 2LPM |
Габариты зондовой установки
| Габариты станции (Ш x Г x В) | 1930 x 1460 x 1845 мм (76.0 x 57.5 x 72.6 дюймов) |
| Масса | 900 кг |
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
