Зондовая станция автомат MPI Corporation MPI TS3000-SE

TS3000-SE является следующей версией зондовой станции TS3000 и оснащена специальной камерой ShielDEnvironment™ для исключения влияние внешних шумов и проведения высокоточных, воспроизводимых измерений DC/CV, фликкер-шума (1/f), случайного телеграфного шума и параметров в СВЧ-диапазоне для характеризации устройства, определения надежности на этапе пластины и СВЧ-применений.

Уникальная конструкция столешницы зондовой станции с активным охлаждением обеспечивает максимальную стабильность при проведении измерений в широком диапазоне температур от -60° до 300°C и делает зондовую станцию TS3000-SE отличным выбором для тестирования устройств при разных температурных условиях.

В станции TS3000-SE реализованы передовые технологии MPI, такие как контроль расстояния между иглами и пластиной PHC™ (стандартная функция), ручное управления положением держателя пластин/микроскопа/манипуляторов mDrive™ и/или вертикальная камера VCE™ (опционально или в качестве модернизации на стороне заказчика).

ShielDEnvironment™

Камера MPI ShielDEnvironment™ - это высокопроизводительная компактная экранирующая камера, обеспечивающая превосходную электромагнитную и световую экранировку для проведения измерений с низким уровнем шума, а также измерений малых емкостей.

ShielDCap™

Полностью конфигурируемая часть экранирующей камеры MPI ShielDEnvironment™, которая позволяет использовать до 4 портов RF, или до 8 портов DC/Kelvin, или комбинацию этих конфигураций.

Легко изменяемая конструкция с надежной экранировкой - это MPI ShielDCap™ - множество учтенных значимых мелочей, которые упрощают ежедневные операции.

Легкая загрузка пластин

Доступ через переднюю дверь и уникальная конструкция держателя пластин позволяют легко загружать/выгружать 150, 200, 300-миллиметровые пластины, фрагменты пластин или отдельные ИС размером до 4×4 мм.

Дополнительные держатели калибровочных пластин и материала для чистки игл расположены спереди основного держателя для удобной работы с ними. Возможность автоматизации процесса СВЧ-калибровки и чистки игл.

Встроенная панель управления

Аппаратная панель управления полностью интегрирована в конструкцию зондовой станции и разработана на основе многолетнего опыта и взаимодействия с заказчиками. Панель обеспечивает быстрое, безопасное и удобное управления всей системой и проведением испытаний. Клавиатура и мышь расположены в непосредственной близости к оператору и могут дублировать управление программным обеспечением, в случае если это необходимо, а также позволяют управлять другими приложениями на базе операционной системы Windows.

Встроенный температурный держатель пластин

Благодаря интеграции чиллера в конструкцию установки, зондовые станции серии TS3000 имеют оптимальные габариты, что позволяет сэкономить ценное пространство в лаборатории или чистой комнате.

Компании MPI и ERS совместно разработали новый 300 мм температурный держатель пластин серии AirCool PRIME Technology, который позволяет сократить время стабилизации температуры на 60% и может быть сконфигурирован под разные температурные диапазоны.

Сниженное время стабилизации, улучшенные электрические характеристики, возможность проведения измерений в атмосфере инертного газа и модернизации на стороне заказчика - дополнительные преимущества температурного держателя серии AirCool PRIME.

Управление температурным держателем пластин осуществляется с помощью полностью интегрированного сенсорного дисплея, расположенного непосредственно перед оператором для быстрого управления и получения обратной связи.

Запатентованная технология охлаждения AC3 от компании ERS

Температурный держатель пластин поддерживает запатентованную технологию AC3, которая обеспечивает охлаждение и управление расходом воздуха при его подаче в экранированную камеру MPI ShielDEnviroment. Используя рециркуляцию внутри камеры, потребление сухого сжатого воздуха может быть снижено на 30–50% относительно аналогичных систем других производителей.

Система Safety Test Management™ (STM)

Уникальная система безопасности STM предотвращает открытие дверей во время тестирования - результаты ваших измерений в безопасности. Случайное открытие зондовой станции при отрицательной температуре держателя пластин невозможно ни при каких обстоятельствах. Кроме того, интеллектуальная система контроля точки росы позволяет избежать накопление влаги во время испытаний при пониженной температуре. Система автоматически контролирует поток CDA или азота. Если поток прерывается или недостаточен, STM™ автоматически переводит держатель пластин в безопасный режим - нагревает его как можно быстрее до температуры выше точки росы. MPI STM™ — это функция, которая делает измерения более безопасными, надежными и удобными, автоматически обеспечивая безопасность тестирования.

Аппаратная интеграция приборов

Дополнительная полка для приборов сокращает длину кабелей и увеличивая динамические параметры тестирования и эффективность измерений.

Программное обеспечение SENTIO®

Автоматические измерительные зондовые станции MPI управляются уникальным мультисенсорным программным обеспечением SENTIO Software Suite. Простое и интуитивно понятное управление экономит значительное время на обучение. Команды прокрутки, увеличения, перемещения имитируют современные команды на современных мобильных устройствах и позволяют каждому стать экспертом всего за несколько минут. Переключение между разными приложениями осуществляется простым движением пальца.