Зондовая станция полуавтомат MPI Corporation MPI TS2000 IFE

Полуавтоматическая зондовая станция TS2000 IFE предназначена для проведения точных и надежных измерений на постоянном токе и постоянном напряжении. А так же измерений на высокой частоте, тренировки полупроводниковых устройств на пластине – испытаний на термостойкость, на воздействие холода, продолжительные испытания.

Основные возможности

• Кремневая фотоника.
• СВЧ и миллиметровый диапазон.
• Измерения в температурным диапазоне от -60 до 300°С.
• Опция IceFreeEnvironment для использования микропозиционеров и проб-карты одновременно даже при отрицательных температурах.
• Программируемое передвижение микроскопа для большей автоматизации и простоты использования.
• Возможность сократить длину кабелей для тестирования интегральных схем.
• Минимальное расстояние между платформой и держателем пластин для измерений в миллиметровом диапазоне и измерений с использованием активных зондовых головок.
• Тестирование устройств на пленке.
• Удобная загрузка пластины или одиночного образца через переднюю дверь.
• Встроенная активная виброизоляция.
• STM с автоматическим контролем точки росы.
• Уменьшенный размер установки за счет эргономичного размещения чиллера.
• Полка для размещения измерительных приборов для уменьшения длины кабелей и увеличения частоты тестирования при функциональном контроле.

Основные области применения

Load pull, СВЧ-измерения, кремневая фотоника, входной контроль.

Автоматический загрузчик WaferWallet®MAX

Автоматический загрузчик MPI’s WaferWallet® MAX позволяет сократить время тестирования за счет работы с кассетами под диаметр пластин 100, 150 или 200 мм. Уменьшает время простоя при проведении температурных измерений. Имеет продвинутую систему выравнивания пластины. Позволяет загружать/выгружать пластины из кассеты вне зависимости от температуры держателя пластин.

Усовершенствованная система выравнивания

Боковая и нижняя камера делают TS2000-IFE идеальной установкой для проведения сложных измерений при тестировании СВЧ-устройств и кремниевой фотоники.

Опционально доступен считыватель ID пластин.

Изолирующая камера IceFreeEnvironmentTM

TS2000-IFE позволяет проводить измерения одновременно с использованием микропозиционеров и проб-карт в широком температурном диапазоне от -60°C до +300°C.

Конструкция установки позволяет сократить длину измерительных кабелей, что делает ее идеальным решением для задач СВЧ и/или Load-Pull измерений.

Температурные держатели пластин

Компании MPI и ERS совместно разработали новую серию держателей пластин PRIME 200 мм, обеспечивающих широкий температурный диапазон, сокращение времени стабилизации температуры на 60% и возможность расширения температурного диапазона на стороне заказчика.

Управление термической системой осуществляется с помощью интегрированного сенсорного дисплея, расположенного на передней панели установки для индикации и регулировки температуры.

Интегрированная аппаратная и программная панель управления

Аппаратная панель управления зондовой станцией полностью интегрирована в корпус установки и выполнена с учетом пожеланий заказчиков для обеспечения быстрого, безопасного и удобного управления станцией. Клавиатура и мышка имеют удобное расположение для управления установкой. Все операции также могут быть выполнены непосредственно на сенсорном дисплее с помощью программного обеспечения Sentio на базе операционной системы Windows.

Встроенная запатентованная ERS технология охлаждения AC3

Держатели пластин фирмы ERS включают запатентованную технологию охлаждения AC3 и систему управления  рециркуляцией воздуха для продувки камеры MPI ShieldEnvironment™, что снижает потребление сухого сжатого воздуха до 30-50% по сравнению с аналогичными системами.

Программное обеспечение SENTIO

Управление автоматическими зондовыми станциями компании MPI осуществляется мультисенсорным программным обеспечением SENTIO™, представляющим собой интуитивно-понятный интерфейс, который значительно сокращает время на обучение. За счет использования интерфейса, аналогичного современным мобильным устройствам, даже без специальной подготовки каждый может стать экспертом в короткие сроки. При выполнении высокочастотных измерений нет необходимости переключения между отдельными окнами. Программное обеспечение для высокочастотной калибровки QAlibria™, разработанное компанией MPI, полностью встроено в SENTIO™ для простоты использования с соблюдением концепции единой системы.

Зондовые станции MPI предназначены для проведения высокостабильных измерений устройств на пластине и оснащены виброизоляционной платформой, которая сводит к минимуму влияние внешних вибраций. TS2000-IFE предназначена специально для задач с повышенными требованиями к внешним воздействиям. MPI взаимодействует с ведущими поставщиками оборудования для оптической метрологии, чтобы обеспечить его идеальную интеграцию с зондовой станцией. В результате был разработан высокостабильный оптический кронштейн, на который можно разместит как цифровой микроскоп высокого разрешения MPI iMAG, так и, например, оптический блок для анализа МЭМС-структур.  Температурные измерения возможны за счет использования тепловой экранировки, которая блокирует радиацию и исключает влияние внешних помех.