Зондовая станция полуавтомат MPI Corporation MPI TS2000SE

MPI TS2000-SE Автоматическая зондовая измерительная станция, 200 мм с системой защиты от ЭМИ и света ShieldEnvironment®.

Автоматическая зондовая станция TS2000-SE предназначена для проведения точных и надежных измерений на постоянном токе и постоянном напряжении, измерений на высокой частоте и высокой мощности, тренировки полупроводниковых устройств на пластине – испытания на термостойкость, на воздействие холода, продолжительные испытания.

Основные возможности

• MPI ShieldEnvironment® для точных измерений.
• Система разработана для экранирования от внутренних радиопомех | радиочастотных помех | светонепроницаемого экранирования.
• Возможности измерения недостаточной утечки FemtoAmp.
• Интегрированная активная виброизоляция;.
• Система предназначена для температурного диапазона от -60°C до 300°C.
• Система имеет две функции загрузки: фронтальную загрузку и модифицированную автоматизированную загрузку одной полупроводниковой пластины при высокой температуре | низкой температуре зажима.
• Жесткий стол допускает размещение 8 устройств позиционирования для измерений на постоянном токе (DC) или 4 позиционеров для RF измерений.
• Система оснащена различными зажимными приспособлениями и множеством таких приспособлений, как микропозиционеры для измерений DC/RF/mmW, оптических измерений, микроскопами для удовлетворения различных требований к эксплуатации.

Функции и преимущества

ShielDEnvironment™

ShielDEnvironment™ компании MPI представляет собой высокоэффективную камеру для испытаний на локальные внешние воздействия, которая обеспечивает условия для проведения сверхмалошумных и низкоемкостных измерений с защитой от электромагнитного и светового излучения.

ShielDCap™

Полностью конфигурируемая часть камеры MPI ShielDEnvironment™, которая обеспечивает использование до 4 микропозиционеров для высокочастотных измерений или до 8 микропозиционеров для высокотемпературных измерений/измерений вольт-фарадных характеристик или их комбинацию.

ShielDCap™ облегчает работу с системой, позволяя легко изменять конфигурацию.

Полная версия ShielDCap представляет собой заменяемый вариант с защитой от электромагнитных излучений держателя проб-карт.

Автоматизированная загрузка одной полупроводниковой пластины

Данная функция предназначена для удобной загрузки полупроводниковых пластин с предварительным выравниванием для автоматизированных измерений. Загрузка и выгрузка пластин размером до 100, 150 или 200 мм осуществляется непосредственно вперед и интуитивно-понятным образом. Для автоматизации процедур высокочастотной калибровки и очистки проб-карт не требуется платформа для выемки.

Система Управления безопасностью тестирования (Safety Test Management™)

Уникальная система STM™ предотвращает открытие дверцы во время испытаний – Ваши результаты измерений будут надежно защищены. Ни при каких условиях не может произойти случайное открытие любой дверцы системы, если температура держателей отрицательна. Более того, интеллектуальный контроль точки росы позволяет избежать образования льда во время холодных испытаний. Система автоматически контролирует поток сжатого воздуха или азота. Если поток прерывается или не соответствует требованиями система STM™ автоматически переключает держатели пластин в безопасный режим: максимально быстро поднимает температуру держателей выше точки росы.

Замена пластины при положительных и отрицательных значениях температуры держателя пластин

Автоматизированный загрузчик одной пластины и управление безопасностью тестирования обеспечивают возможности для загрузки/выгрузки пластин при различных температурах держателя. Охлаждение или разогрев до температуры окружающей среды больше не требуется при загрузке и выгрузке пластин. Данная функция значительно экономит время и повышает общую производительность систем тестирования, разработанных компанией MPI. Необходимые установочные параметры защищены обычной процедурой входа в систему с паролем.

Контроль и управление вертикальным перемещением зондовой головки MPI (Vertical Controlled Environment™)

Камера бокового обзора позволяет производить визуальный контроль области контакта. Это позволяет осуществить прецизионное выравнивание зондовых головок относительно друг друга по осям Z и Y.

Встроенная запатентованная ERS технология охлаждения AC3)

Держатели пластин фирмы ERS включают запатентованную технологию охлаждения AC3 и систему управления воздушными потоками для продувки камеры MPI ShieldEnvironment™ непосредственно  «уже использованным» воздухом, что снижает потребление сухого воздуха до 30-50% по сравнению с другими системами на рынке.

Виброизоляция

Станция TS2000-SE содержит встроенную высокоэффективную виброизоляционную платформу для более эффективной работы при выполнении лабораторных измерений.

Интегрированная аппаратная панель управления

Интеллектуальная панель управления аппаратными средствами полностью интегрирована в зондовую станцию и выполнена с учетом богатого опыта разработчиков и с учетом пожеланий заказчиков с целью обеспечения быстрого, безопасного и удобного управления станцией и выполнения измерений.

Клавиатура и мышка имеют удобное расположение для управления станцией. Также для управления используются технические средства на базе операционной системы Windows®.

Интеграция инструментов

Полка для инструментов (предлагается опционально) уменьшает длину кабелей и увеличивает точность и направленность измерений.

Программный пакет SENTIO™

Управление автоматизированными зондовыми системами компании MPI осуществляется уникальным и продвинутым мультисенсорным программным комплексом SENTIO™, представляющий собой интуитивно-понятный интерфейс, который значительно экономит время на обучение, выполнение команд прокрутки, масштабирования и перемещения, имитируя современные умные мобильные устройства, и позволяет каждому стать экспертом в считанные минуты. Переключение между активным приложением и остальными выполняется вручную, нажатием на кнопки клавиатуры.

При выполнении высокочастотных измерений нет необходимости переключаться на другую программную платформу. Программное обеспечение для высокочастотной калибровки, разработанное компанией MPI, QAlibria™ полностью сопряжено с пакетом SENTIO™ для простоты использования с соблюдением одной функциональной концепции.